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电子级六氟化硫国家标准修订立项报告：目的意义、范围与主要技术内容分析

EnglishTitle:AnalysisonthePurpose,Significance,Scope,andMainTechnicalContentoftheNationalStandardRevisionforElectronicGradeSulfurHexafluoride

摘要

随着集成电路制造技术的飞速发展，尤其是12英寸晶圆制造工艺的普及，对电子级六氟化硫（SF?）的纯度与质量提出了更高要求。现行国家标准GB/T18867-2014《电子工业用六氟化硫》已实施近九年，在技术指标、检测方法和适用范围等方面已难以满足当前产业需求。本报告系统阐述了该标准修订的目的意义、适用范围及主要技术内容，旨在通过技术条款的全面升级，提升高纯电子气体材料的质量水平，强化半导体产业链供应链自主可控能力，推动我国电子材料标准与国际先进水平接轨。修订工作响应了《“十四五”推动高质量发展的国家标准体系建设规划》等国家政策，对支持集成电路产业创新与可持续发展具有重要战略意义。

关键词：电子级六氟化硫；标准修订；集成电路；高纯气体；特种气体；半导体材料；质量控制

Keywords:ElectronicGradeSulfurHexafluoride;StandardRevision;IntegratedCircuit;HighPurityGas;SpecialtyGas;SemiconductorMaterial;QualityControl

正文

一、目的与意义

电子级六氟化硫是集成电路制造过程中不可或缺的关键高纯电子气体材料，广泛应用于蚀刻、清洗、成膜等核心工艺环节。由于其具有优异的绝缘性能和化学稳定性，在微电子器件制造中发挥着重要作用。随着我国集成电路产业向更先进制程节点发展，晶圆尺寸已普遍达到12英寸，制造工艺对气体纯度、杂质控制及一致性提出更为苛刻的要求。

现行国家标准GB/T18867-2014《电子工业用六氟化硫》自发布实施已近九年，其在气体纯度指标、杂质检测方法、采样规范等方面已不能完全适应当前技术发展和市场需要。特别是在关键杂质组分（如六氟乙烷、八氟丙烷等）的检测、气体采样代表性与安全性等方面存在明显不足。因此，对该标准进行系统性修订具有显著的现实紧迫性和行业共识。

本次修订积极响应国家政策导向。国务院发布的《“十四五”推动高质量发展的国家标准体系建设规划》明确提出要加强制造业高端化领域的材料标准供给；工信部《重点新材料首批次应用示范指导目录（2019年版）》也将电子级六氟化硫列为“特种气体”类别，属于国家鼓励发展的关键战略材料。通过标准修订，将进一步提升我国在高纯电子气体领域的自主保障能力，推动半导体产业链上下游协同发展，增强我国电子材料在国际市场中的竞争力和话语权，有效支撑国家电子信息产业安全与高质量发展战略。

二、范围与主要技术内容

本标准修订文件规定了电子级六氟化硫产品的技术要求、检验规则、试验方法以及标志、包装、运输及贮存等方面的内容，适用于以硫与氟直接反应并经精制纯化，或以工业级六氟化硫为原料进一步提纯制备的电子级别六氟化硫产品。产品主要面向集成电路、平板显示、太阳能电池等微电子工业领域。

与2014版标准相比，本次修订主要包括以下技术内容的更新与完善：

1.标准名称与结构优化：更改标准名称使其更准确反映产品高端电子气体属性；结构调整更符合GB/T1.1-2020的编写要求。

2.规范性引用文件更新：根据行业发展现状更新引用的基础标准与检测方法标准。

3.新增术语和定义章节：明确“电子级六氟化硫”“杂质组分”等关键术语，避免歧义。

4.修订技术要求：提高气体纯度指标，加强对新兴杂质组分的限制要求，如六氟乙烷（C?F?）和八氟丙烷（C?F?）等。

5.新增采样章节：规范采样操作流程，确保样品代表性与检测结果准确性。

6.优化纯度与杂质测定方法：

-更新氧+氩、氮、四氟化碳等常规杂质的分析方法，引入更先进的气相色谱-质谱联用（GC-MS）等方法；

-新增六氟乙烷和八氟丙烷的定量检测方法；

-修订可水解氟化物的测定方法，提升检测灵敏度和准确性。

7.完善检验规则与包装贮运要求：明确型式检验与出厂检验项目，补充安全信息附录，增强标准实用性。

8.删除过时附录、新增安全与参考文献：删除2014版中原附录A，新增“安全信息”附录及参考文献列表，提高标准全面性与规范性。

三、介绍修订的主要单位

本次标准修订工作主要由中国电子技术标准化研究院（CESI）牵头组织。该院是工业和信息化部直属事业单位，长期从事电子信息技术领域的标准化科研、标准制修订、检测认证等工