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第1页，共36页，星期日，2025年，2月5日MainContent1、AdsorptionofGas 气体吸附现象2、GasDischargeunderLowTemperature 低压下气体放电现象第2页，共36页，星期日，2025年，2月5日AdsorptionofGas(吸附)1、InteractionofSolidandGas吸附(Adsorption)：固体表面聚集一层或者多层气体的现象；吸收(Adsorption)：气体扩散渗入固体内部并被溶解的现象；解吸（Desorption）：被材料吸附的气体或者蒸汽的释放现象；第3页，共36页，星期日，2025年，2月5日2、BasalPrincipleofAdsorption吸附是真空技术中非常重要的问题，只要涉及的是气体与固体表面的相互作用。被吸附的气体分子叫做吸附质，吸附气体分子的固体叫吸附剂。吸附是固体物质的通性，但是有些物质的吸附能力特别强，如活性炭、硅胶、活性氧化铝、分子筛、金属钛、金属锆和金属钡等。吸附现象在真空技术中要辨证地看待。第4页，共36页，星期日，2025年，2月5日吸附产生的机理大致说就是由于固体表面附件的力场存在，它对于与其碰撞的气体分子而言扮演着一个势阱（Potentialtrap）的角色。吸附剂与吸附质中间作用力分类两种：范德瓦尔斯力和化学键力。范德瓦尔斯力源于电偶极子，强度随距离6次方衰减；化学键力源于吸附剂与吸附质之间的电子交换，有离子键和共价键的区分；第5页，共36页，星期日，2025年，2月5日吸附的过程：分子以能量与固体表面碰撞，以一定的几率落入范德瓦尔斯势阱，放出一部分热量（吸附热）。被捕获的分子以一定几率穿越势垒（化学吸附活化能）落入更深的势阱，放出较大的能量（化学吸附热）。物理吸附与温度负相关，化学吸附与温度正相关。第6页，共36页，星期日，2025年，2月5日第7页，共36页，星期日，2025年，2月5日3、EquilibriumofAdsorption吸附出于平衡状态时，吸附量是温度与环境气体压力的函数：温度一定时，吸附量仅仅是压力的函数，叫做吸附等温线。大量的实验表明吸附等温线有5中类型，其中类型I为单分子层吸附。第8页，共36页，星期日，2025年，2月5日第9页，共36页，星期日，2025年，2月5日根据热力学理论，很多研究者对吸附现象进行了研究，得到很多吸附等温线的理论结果，其中真空技术中常用的有6种。需要注意的是下面这些公式都是有特定的使用范围的，这从一个侧面反映出吸附现象的复杂性，它不仅与吸附剂的物质种类和表面状况有关，也与吸附质的物质种类、携带的能量等有关。第10页，共36页，星期日，2025年，2月5日朗缪尔等温式：第11页，共36页，星期日，2025年，2月5日此外还有弗利德利胥等温式、捷姆金等温式、BET等温式、杜平宁等温式和亨利定律等。这些方程都是在普遍的热力学规律基础上，结合特定的假设得到的，所以适用性是有局限的。《真空设计手册》P80～84第12页，共36页，星期日，2025年，2月5日4、Non-equilibriumofAdsorption在吸附未达到平衡或者外界因素使得吸附质脱附时，吸附现象进入非平衡状态。通常对非平衡态我们关注的是吸附或者解析速率。ChemicalAdsorptionSpeed其中γ是吸附成功率、Fc(θ)是没有被化学吸附占据的吸附位碰撞的概率、Ea是吸附活化能、Γn是单位时间碰撞到单位面积衬底上的分子数目。第13页，共36页，星期日，2025年，2月5日为了简单起见，通常定义粘附概率αc,得到化学吸附速率的表达式为：下面给出一些实际测量的结果。通常结论是和各种因素相关的。第14页，共36页，星期日，2025年，2月5日第15页，共36页，星期日，2025年，2月5日PhysicalAdsorptionSpeed物理吸附速率up是：定义凝聚速率得到物理吸附速率表达式为：第16页，共36页，星期日，2025年，2月5日FirstLevelDesorptionspeed分别为单位面积吸附分子数、一级解吸速率常数、气体普适常数、解吸活化能、热力学温度和吸附分子垂直于表面方向的振动周期。常见气体的吸附常数和吸附热有表可查。第17页，共36页，星期日，2025年，2月5日TwoLevelDesorptionSpeed在超高真空系统中许