压电驱动硅基声学-微流体理论与新型声镊芯片研发.pdfVIP

摘要

微纳米尺度目标的精确操控对生物医学领域至关重要，声镊技术利用声流和

声辐射力两种非线性效应，具有操控力强、成本低和生物兼容性好等特点，受到

广泛关注。目前，声镊技术对亚微米目标粒子的操控仍是一项挑战，一般需要通

过提高声波频率或者设计特殊结构实现亚微米粒子的捕获。本文分别研究了利用

超高频固态装配型体声波谐振器以及低频微柱阵列实现亚微米粒子的捕获。纵观

声流理论发展，目前尚缺乏适用于GHz频段的理论，并且对于微柱阵列声流模

式的研究还有待完善。通过对亚微米粒子的非线性操控研究，为微纳米尺度目标

的操控装置设计和有关技术应用提供了理论依据，本文主要内容包括：

（1）从流体基本方程出发，利用摄动理论分别求解得到一阶声场方程和二

阶声流场方程，并系统推导出作用于流体中粒子上的力。

（2）通过构建理论模型，分析了GHz声波的弱非线性效应（或称谐波效应）

对于声流的影响，并结合一系列具体算例研究了声压和流道高度对声波的非线性

效应提高声流速度百分比的影响。通过一维驻波算例的理论推导和两种源项的声

流仿真探究了学术界现存的两种声流源项存在的差异，有助于实现更加精确的声

流仿真。

（3）设计了一款新型声镊芯片，即微柱阵列芯片。相较于超高频声流器件，

其加工难度和制造成本均较低。进行了一系列荧光粒子实验，验证了此芯片可以

有效捕获微纳米粒子。通过构建微柱的数值模型，结合实验证实了微柱振动的幅

值和相位差会显著影响微柱阵列的声流模式，不同的声流模式有不同的粒子捕获

效果，同时研究了微柱的尺寸效应（即其高度与直径之比）对粒子捕获效果的影

响。

（4）理论推导了高频声流与低频声流源项（即体积力）的统一形式，并证

明了其与经典Eckart理论的一致性，有助于更加深入的理解高频与低频声流的

关系。

关键词：声镊，声流理论，非线性操控，频率效应，尺寸效应

ABSTRACT

Theprecisemanipulationofmicro-scaletargetsareessentialtothebiomedical

field.Acoustictweezersusestwononlinearmanipulationeffects,namely,acoustic

streamingandacousticradiationforce.Ithasthecharacteristicsofstrongmanipulation,

lowcostandgoodbiologicalcompatibility,andhasattractedwidespreadattention.At

present,acoustictweezersisstillachallengeforthemanipulationofsubmicrontarget

particles.Generally,itcanachievethetrappingofsubmicronparticlesbyimproving

thefrequencyordesigningspecialstructures,Inthispaper,westudythetrappingof

submicronparticlesusingultra-highfrequencysolidlymountedresonatorandlow-

frequencyacousticpillararray.Throughoutthedevelopmentofacousticstreaming

theory,thereisstillalackoftheoryapplicabletotheGHzband,andtheresearchonthe

streamingmodeofpillararrayneedstobeimproved.Theresearchonthenonlinear

manipulationofsubmicronparticlesprovidesatheoreticalbasisforth