异质衬底多晶硅籽晶层：制备工艺、关键问题与应用前景.docx

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2025-10-01 发布于上海
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异质衬底多晶硅籽晶层：制备工艺、关键问题与应用前景

一、引言

1.1研究背景与意义

在半导体和光伏领域，多晶硅籽晶层占据着极为关键的地位，对提升器件性能与降低成本意义重大。多晶硅作为一种高纯度的硅材料，具备优良的电学性能和半导体特性，是制造半导体器件与太阳能电池的核心原材料。在半导体产业中，多晶硅广泛应用于集成电路、芯片制造等领域，是实现电子设备高性能、小型化的基础材料。随着信息技术、5G、物联网等领域的迅猛发展，对半导体器件的性能和集成度提出了更高要求，这也使得多晶硅的质量和技术进步成为推动半导体行业发展的关键因素。在光伏产业，多晶硅是太阳能光伏发电的核心材料，太阳能电池板通过多晶硅将太阳