扩散炉操作培训.pptVIP

第1页，共29页，星期日，2025年，2月5日培训内容开机操作生产操作关机操作维护保养生产提示第2页，共29页，星期日，2025年，2月5日开机操作（一）1、打开气柜压缩空气的手动阀并调节调压阀使其压力在6Bar左右。2、打开气柜氮气和氧气手动阀，并调节调压阀使其压力在2Bar左右。第3页，共29页，星期日，2025年，2月5日开机操作（二）3、打开电气柜上的“MainSwitch”在“ON”位置，设备上电；CMI电脑自动启动。4、打开设备冷却水，先开出水阀，再开进水阀。检查水压在3-6kg/cm2范围内。第4页，共29页，星期日，2025年，2月5日开机操作（三）5、输入XP操作系统用户“Operator”密码“6065”，进入CMI计算机的XP系统，自动启动CMI软件。6、检查并打开气柜上1-4管“CESAR”的开关，启动“CESAR”系统。第5页，共29页，星期日，2025年，2月5日开机操作（四）7、设定各管“Paddle”温度为默认值，按下：“Manual/T_Paddle/All/Setpoint/Default”。8、设定升温速度为5℃/min，按下：“Manual/T_Paddle/All/RampPos”，输入“5”，并按确认键“ENTER”。第6页，共29页，星期日，2025年，2月5日开机操作（五）9、当温度到达500℃时，用手推动炉门的气缸，使炉门关闭。10、顺时针打开TGA上部调压阀，使压缩空气压力恢复到4Bar左右。第7页，共29页，星期日，2025年，2月5日开机操作（六）11、打开恒温箱控制器的黑色电源开关，检查并确认设定温度20℃；按下“RUN”按钮，启动恒温箱。当实际温度达到设定温度后，才可生产。12、当源瓶的磷源用尽需要更换时，恒温控制器会有液位报警提示，需更换新的磷源。第8页，共29页，星期日，2025年，2月5日开机操作（七）13、在CMI触摸屏上按下各管的“Standby”，确认CMI上显示各管“CESAR”正常；当“T_Paddle”达到设定温度，准备生产。炉体加热部分共分5个温区，每个温区在600-1200℃范围内的精度±0.5℃。第9页，共29页，星期日，2025年，2月5日开机操作（八）Start：运行一个准备好的工艺或启动正在暂停的工艺。Stop：停止正在运行工艺，在任一时间按下“Start”按钮，被终止的工艺将被继续运行。Standby：如果没有运行工艺，按下Standby，所有设备参数恢复默认值和Standby状态下设定值。如果正在运行工艺，按下Standby，使工艺一直保持在正在运行的这一步；在按下“Stop”按钮之后，按下Standby，将自动终止工艺。第10页，共29页，星期日，2025年，2月5日生产操作（一）1、检查“Slider”是否在上料位置，若不在，手动状态下移到上料处：“Manual/Slider/toport”。2、把插好硅片的舟放到“slider”上。尽量使舟在“slider”中间位置。第11页，共29页，星期日，2025年，2月5日生产操作（二）3、在“Setup”界面选择“Boat”项，选择一个舟号，进行工艺信息编辑。4、选择确定后，进入“boatactivation”界面，点选“Setboatactiveforhandling”、“Setboatto‘Readyforprocessing’和‘Boatwillberemovedforunload’”复选框,再点击“Next”按钮。第12页，共29页，星期日，2025年，2月5日生产操作（三）5、进入“Handlinginformation”界面，把舟上的编号输入到“BoatID”一栏，同时选择Loadposition为“Slider”，再点击“Next”按钮。6、进入“Processtubeselection”界面，选择需运行工艺的管号，在正常情况下1-4管全部选中，再点击“Next”按钮。第13页，共29页，星期日，2025年，2月5日生产操作（四）7、进入“Boatinformation”界面，在Actualboatlocation位置选择“Slider”，在Boatstate位置选择“Waitfortube”，再点击“Next”按钮。8、进入“Processinformation”界面，选择相应的运行工艺名，在“Lotsinboat”中输入相关舟的信息，再点击“Finish”按钮。第14页，共29页，星期日，2025年，2月5日生产操作（五）