公司研究中微公司-刻蚀设备新星平台型格局初现-2020050438页.pdfVIP

机械设备|证券研究报告—首次评级2020年5月4日

[Table_Stock]

688012.SH中微公司

买入

刻蚀设备新星，平台型格局初现

原评级:未有评级ummary]

公司已经在国内产线展现在CCP介质刻蚀领域的竞争实力，未来成长性不

市场价格:人民币168.06仅仅在于CCP刻蚀设备伴随本土晶圆厂投资向好而做大做强，还有ICP刻

板块评级:未有评级蚀设备的产业化，以及从刻蚀设备向薄膜沉积设备、量测设备等拓展。

支撑评级的要点

本报告要点

刻蚀设备市场：全球规模大但被寡头垄断，中微引领介质刻蚀国产化。

介质刻蚀、CCP刻蚀、ICP刻蚀、量测.全球刻蚀设备在晶圆制造工艺设备中占比20%左右，相当于120亿美元

[Table_PicQuote]市场规模，但主要被LamResearch、应用材料、TEL三大国际巨头垄断；

股价表现

国内刻蚀设备市场商，刻蚀设备国产化率约为20%左右，其中进口品牌

167%仍以LamResearch、应用材料、TEL为主，本土品牌以中微半导体、北方

129%华创、屹唐半导体为主。

91%

52%刻蚀设备前景：国内外先进制程、3DNAND增加刻蚀设备需求，中微受

14%益。线宽微缩持续增加对刻蚀设备需求，尽管在7nm以下的制程中EUV

(24%)替代多重曝光减少刻蚀步骤是大势所趋，但因刻蚀技术难度增加而使得

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