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摘要
微泵是许多微/纳米级平台的核心。然而,目前微泵的集成受到制造工艺复
杂、所需电压过高等问题的阻碍。这些问题的出现说明了现有泵送系统的局限
性。镓基液态金属由于同时具有液体和金属的特性,所以适合应用于软体柔性
设备,例如软体机器人、电子皮肤、可穿戴设备和柔性电子等。另外,液态金
属在室温下易于成型,可以作为泵、电极和阀门应用于微流系统。
镓基液态金属拥有特殊的表面特性,很多外部因素都可以改变其表面张力。
本文旨在通过调节其表面张力实现镓基液态金属的运动以及镓基液态金属对流
体的驱动。研究内容包括以下三方面:
第一,研究了镓基液态金属液滴在不对称化学环境中的定向移动。将镓基
液态金属液滴置于充满酸性介质的通道中,液态金属液滴处于静置状态。在通
道的一侧分别加入NaOH颗粒、CrO2-或HO氧化剂、CuSO或CuCl、KI时,
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液态金属液滴开始定向移动,这是由于在通道的一侧加入物质会引起液态金属
液滴两侧产生pH差、一侧发生氧化还原反应或吸附,导致液态金属液滴两侧形
成界面张力差,该界面张力差进一步使液态金属液滴受力不平衡,从而形成了
液态金属液滴的定向移动。
第二,研究了直流电场下镓基液态金属的心跳行为,两种化学体系(钠盐
溶液和氢氧化钠溶液)中均可以发生液态金属的振荡。在钠盐溶液中与阴极接
触产生振荡,而在氢氧化钠溶液中与阳极接触可以产生振荡。研究发现,形成
振荡的两种原因:一种是由于电荷密度发生不均匀改变从而影响双电层和表面
张力而产生振荡现象;另一种是由于氧化还原反应影响液态金属表面张力而产
生振荡行为。对比传统的液态金属心跳系统,本文研究使用的试剂更安全,同
时,本研究也为液态金属自驱动的研究提供了一定的经验。
第三,研究了酸性介质中的镓基液态金属微泵。该泵利用交流电场控制镓
基液态金属的连续电润湿效应开发出输送流体,通过对各个工艺参数进行优化,
优化结果为:在浓度为0.6mol/LKI和0.2mol/L盐酸的电解质溶液中,方波频
率为50Hz,占空比为60%的脉冲波,电压为5V且保持低电平为0V,液态金
属液滴体积为12μL,电极距离为15mm,通道长度为65mm的条件下,液态
金属驱动泵的性能最佳。与以往的研究不同,本研究首次将镓基液态金属微泵
应用在酸性系介质中,得到的微泵的较于以往在碱性介质中的研究更加安全环
保,驱动性能也更优。
关键词:镓基液态金属,微泵,界面张力,双电层
Abstract
Micropumpsareattheheartofmanymicro/nanoscaleplatforms.However,theintegra-
tionofmicropumpsiscurrentlyhamperedbythecomplexityofthemanufacturingprocessandthe
highvoltagerequired.Theemergenceoftheseproblemsillustratesthelimitationsofexistingpump-
ingsystems.Galliumbasedliquidmetalhasthecharacteristicsofbothliquidandmetal,makingit
suitableforapplicationinsoftflexibledevices,suchassoftrobots,electronicskin,wearabledevices
andflexibleelectronics.Inaddition,liquidmetaliseasytoformatroomtemperatureandcanbe
usedaspumps,electrodesandvalvesinmicroflowsystems.
Galliumbasedliquidmetalhasspeci
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