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甲基丙烯酸酯光刻胶的制备工艺优化及其在滤光膜中的性能与应用研究
一、引言
1.1研究背景与意义
在现代科技飞速发展的时代,电子信息产业作为推动经济增长和社会进步的重要力量,正以前所未有的速度蓬勃发展。从智能手机、平板电脑等便携式设备,到高清晰度的液晶显示器、有机发光二极管显示器,再到大规模集成电路和先进的半导体芯片,电子信息产品已经广泛渗透到人们生活的方方面面,深刻改变了人们的生活方式和工作模式。而在电子信息产业的众多关键技术中,光刻技术无疑占据着举足轻重的地位,它是实现微细图形加工的核心技术,如同工匠手中的精密刻刀,决定着电子元器件的尺寸精度和性能优劣,对整个产业的发展起着至关重要的支撑作
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