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公司半导体辅料制备工合规化操作规程

文件名称：公司半导体辅料制备工合规化操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司半导体辅料制备工在日常工作中涉及到的安全操作。适用于半导体辅料的生产、储存、使用等环节。本规程旨在确保辅料制备过程中的合规操作，预防事故发生，保障员工安全与健康。所有从事半导体辅料制备工作的员工必须遵守本规程的相关规定。

二、操作前的准备

1.防护用具的正确使用方法：

a.工作人员应穿戴合适的防护服，确保服装材料不与辅料发生化学反应，且能抵御辅料溅射。

b.戴好防护眼镜，确保眼镜与面部密封良好，防止辅料溅入眼睛。

c.配戴防尘口罩，根据辅料特性选择合适的过滤等级，确保呼吸安全。

d.手套应选择耐化学品、耐磨损的材料，确保双手不受辅料侵蚀。

e.根据需要，佩戴耳塞或耳罩，减少噪音对听力的影响。

2.设备启机前的检查项目：

a.检查设备外观是否有损坏，特别是连接部分和活动部件。

b.检查电气线路是否完好，无裸露的电线或插座。

c.检查设备各部件是否安装牢固，旋转部件是否灵活。

d.检查设备润滑系统，确保润滑良好，减少磨损。

e.检查安全防护装置是否正常工作，如紧急停止按钮、限位开关等。

f.检查设备报警系统是否灵敏，能够及时发出警报。

3.作业区域的准备要求：

a.确保作业区域清洁、整洁，无杂物堆积，避免绊倒或影响操作。

b.设置警示标志，提醒人员注意安全。

c.准备充足的辅料储存空间，确保辅料存放符合规定，避免交叉污染。

d.配备消防器材，如灭火器、消防砂等，确保在紧急情况下能够迅速应对。

e.确保通风良好，保持作业区域空气流通，减少有害气体积聚。

f.设置应急撤离通道，确保在紧急情况下人员能够迅速撤离。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作或工艺执行的步骤流程：

a.首先进行设备预热，确保设备在正常温度下工作。

b.按照操作手册的指导，逐步开启设备，检查设备是否处于正常工作状态。

c.按照规定的比例和顺序加入辅料，注意防止不同辅料之间的交叉污染。

d.启动搅拌系统，确保辅料充分混合均匀。

e.控制反应温度和时间，按照工艺要求进行反应。

f.反应完成后，关闭搅拌系统，停止加热。

g.对产品进行初步检查，确保产品符合质量标准。

h.对设备进行清洁和消毒，为下一批次生产做准备。

2.特殊工序的操作规范：

a.对于需要精确控制温度的工序，应使用温度控制器，并定期校准。

b.对于有潜在危险的工序，如高压操作，应确保所有安全阀和压力表正常工作。

c.在进行高纯度辅料操作时，应使用高纯度设备和工具，避免污染。

d.对于需要特殊处理或储存的辅料，应严格按照规定进行操作和储存。

3.异常工况的处理方法：

a.如果设备出现故障，应立即停止操作，并按照紧急停机程序操作。

b.对于温度或压力异常，应立即检查原因，并采取相应措施进行调整。

c.如果辅料出现异常反应，应立即停止操作，隔离受影响区域，并通知上级。

d.在处理异常情况时，所有人员应保持冷静，按照应急预案进行操作。

e.所有异常情况应详细记录，包括发生时间、原因、处理措施和结果，以便后续分析和改进。

四、操作过程中机器设备的状态

1.设备运行时的正常工况参数：

a.温度：设备运行温度应在设备制造商提供的操作范围内，避免过热或过冷。

b.压力：设备运行压力应稳定在规定的工作压力范围内，压力波动应小于设定值。

c.速度：设备的旋转速度或输送速度应与工艺要求相符，无异常波动。

d.电流：设备运行时的电流应稳定，无异常增大或减小。

e.声音：设备运行时应有规律的声音，无异常的噪声或震动。

f.润滑油：润滑油温度和油质应定期检查，确保在正常工作范围内。

2.典型故障现象：

a.设备温度异常升高，可能由于过载、冷却系统故障或设备磨损引起。

b.设备压力异常波动，可能由于阀门故障、管道泄漏或压力控制系统失灵引起。

c.设备运行速度不稳定，可能由于电机故障、传动带松弛或控制系统问题引起。

d.设备运行时电流过大，可能由于电机故障、负载不平衡或电源问题引起。

e.设备运行时出现异常噪声或震动，可能由于设备部件松动、不平衡或磨损严重引起。

3.状态监测的操作要求：

a.定期对设备进行视觉检查，观察设备外观是否有异常。

b.使用温度计、压力表、转速表等工具，定期监测设备的关键参数。

c.记录设备运行数据，包括温度、压力、电流等，以便分析和趋势预测。

d.对润滑油进行定期检查，包括油质和油温，确保润滑系统正常工作。

e.对