第五章电容式传感器.pptVIP

第1页，共29页，星期日，2025年，2月5日5.1电容式传感器的工作原理和结构典型应用范围：差压、(角)位移、振动、加速度、物位、成分含量、层析一、基本工作原理（物理学内容的复习）1.平行板电容器电容量C+-dA平行板电容器电力线忽略了边缘效应当平行板的间距d远小于平行板的尺寸（半径、长和宽等）时，对精度要求不是特别严格的条件下，边缘效应即可忽略。第2页，共29页，星期日，2025年，2月5日RrL同心圆筒形电容器2.同心圆筒形电容器忽略了边缘效应:L(R–r)在上述两种电容器中，决定其容量大小的诸多参数之一在待测对象的作用发生变化，其电容量将随之改变，这就是电容式传感器的物理基础。对于平行板电容器可以变化的参数有：ε、A、d等；对于同心圆筒形电容器可以变化的参数有：ε、L、r/R等。第3页，共29页，星期日，2025年，2月5日二、变极距型电容式传感器（平行板电容器式）当极距d0→d1=d0-Δd时，则电容量C0→C1。C00然而，d0受介质的绝缘强度限制（空气:约3KV/mm），不可太小。通常，d在25～200μm之间，Δd/d00.1（非线性误差不可太大）。利用Δd→ΔC的特性，可以测量微小位移或厚度。放置了介质片的变极距型电容式传感器容量变化公式的推导灵敏度：第4页，共29页，星期日，2025年，2月5日放置介质片的平行板电容器返回第5页，共29页，星期日，2025年，2月5日三、变面积型电容式传感器定极板动极板平板电容式角位移传感器1.角位移传感器模型：两半圆形板极(定板极和动板极)的间距为d,面积均为A，可绕同圆心转动，其夹角为θ。C（ΔC）与θ（角位移）成线性关系。第6页，共29页，星期日，2025年，2月5日A-两极板的有效覆盖面积C~?x呈线性关系（2）第7页，共29页，星期日，2025年，2月5日D0D1La圆柱形电容式线位移传感器3.同心圆筒形线位移电容式传感器模型：如右图。初始电容C0：当内筒上移为a时，内外筒间的电容C1为：第8页，共29页，星期日，2025年，2月5日四变介质型电容传感器并联电容：第9页，共29页，星期日，2025年，2月5日5.2电容式传感器的灵敏度及非线性从前述讨论可知，变极板面积型电容传感器的电容量与作用量（θ、L）间呈严格的线性关系，而变极距型电容式传感器仅在Δd/d较小时呈近似线性关系。按线性关系处理，必然带来一定的非线性误差。变极距型第10页，共29页，星期日，2025年，2月5日差动式结构差动式灵敏度增加了一倍，非线性误差大大降低了。246810203040差动电容传感器输出特性曲线对这两个输出特性作一简单的比较即可发现，差动电容传感器的非线性因子要比变极距型电容式传感器的非线性因子小得多，做近似性线性处理后，差动电容传感器的非线性误差自然也要小得多。第11页，共29页，星期日，2025年，2月5日5.3电容式传感器的等效电路及特性一、电容式传感器的等效电路图3-9电容式传感器的等效电路RP—并联损耗电阻(板极间的漏电及介质损耗)RS—串联损耗电阻(引线电阻及高频驱肤效应)L—分布电感C—传感器电容在RP、RS忽略时，传感器的等效电容Ce由:容抗感抗第12页，共29页，星期日，2025年，2月5日二、电容式传感器的几个典型特点1.高阻抗直流电阻趋于无穷大，交流阻抗1/(jωC)由于C一般较小，当频率ω不太高时交流阻也很大2.小功率视在功率PC=UI=U2ωC，由于C很小，则在频率ω不太高时PC也很小。3.存在静电吸引力由于板极间距很小，所以静电力就比较明显，特别是小板极间距测量时可能会引入附加误差。4.测量回路通常要用交流回路。第13页，共29页，星期日，2025年，2月5日5.4电容式传感器的测量电路C,?C十分微小?测量电路?电压、电流、频率电容转换电路：调频电路、运算放大器式电路、二极管双T形交流电桥、脉冲宽度调制电路等第14页，共29页，星期日，2025年，2月5日一调频电路Cx=C0±?C——传感器电容；C1——振荡回路的固有电容；C2——传感器引线的分布电容；C——总电容；L——振荡回路电感。第15页，共29页，星期日，2025年，2月5日分辨率高：0.01?m级位移变化量。信号的输出