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硅晶片抛光工职业健康操作规程

文件名称：硅晶片抛光工职业健康操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于从事硅晶片抛光工作的员工，旨在确保员工在抛光作业中的安全与健康。规程要求员工严格遵守各项操作规程，使用合适的防护用品，定期进行职业健康检查，确保作业环境符合国家标准。通过规范操作流程，降低职业危害，保障员工身心健康。

二、操作前的准备

1.个人防护：

-操作前，员工必须穿戴符合国家标准的安全帽、防护眼镜、防尘口罩、防静电工作服、防滑鞋等个人防护用品。

-手套应选用耐化学品、耐切割的材质，以防止化学品溅射和机械伤害。

-长发员工需佩戴工作帽，避免长发进入设备内部造成伤害。

2.设备状态确认：

-检查抛光机、磨料、磨液等设备是否处于良好状态，包括电源、传动系统、控制系统等。

-确认设备清洁，无异物和损坏，确保抛光过程中无安全隐患。

-对抛光机进行空载运行试验，检查其运行是否平稳，无异常噪音。

3.环境检查：

-检查工作区域通风是否良好，确保空气流通，避免有害气体积聚。

-检查地面是否平整，无油污、积水等，以防滑倒。

-检查紧急停止按钮、消防器材等安全设施是否完好，确保紧急情况下能够迅速响应。

4.工作场所准备：

-确保工作区域照明充足，便于操作和观察。

-检查工作台面是否稳固，放置抛光材料的位置合理。

-准备好清洁工具、废弃物容器等辅助用品，确保操作过程中的清洁与卫生。

5.技术准备：

-根据工艺要求，提前配制好抛光磨液，确保磨液成分和浓度符合标准。

-熟悉并理解抛光工艺流程，掌握操作步骤和注意事项。

-对操作人员进行必要的技能培训和考核，确保其具备独立操作的能力。

6.文档准备：

-检查并确认操作记录表、设备维护保养记录等文档的完整性和准确性。

-确保所有操作记录及时更新，便于追溯和监控。

三、操作的先后顺序、方式

1.操作顺序：

a.首先，穿戴好个人防护用品，确保自身安全。

b.接着，对抛光设备进行空载运行试验，确认设备运行正常。

c.检查抛光材料的质量和状态，确保其符合工艺要求。

d.按照工艺参数，配制好抛光磨液，并检查其浓度是否适宜。

e.将硅晶片放置在抛光机上，调整好位置，确保晶片平稳。

f.启动抛光机，开始抛光作业，注意观察抛光过程。

g.抛光过程中，定期检查硅晶片表面质量，确保抛光效果。

h.抛光完成后，关闭抛光机，取下硅晶片，进行初步检查。

i.对抛光机进行清洁和维护，准备下一次操作。

2.作业方式：

-抛光过程中，操作人员应保持专注，避免分心。

-调整抛光压力时，应缓慢进行，避免突然增加压力导致设备损坏或晶片损坏。

-观察抛光效果时，应从不同角度检查，确保抛光均匀。

-作业过程中，如发现异常情况，应立即停止操作，查找原因并采取措施。

3.异常处置：

-如发现硅晶片表面出现划痕、裂纹等异常情况，应立即停止抛光，检查原因并更换抛光材料或调整工艺参数。

-抛光机出现异常噪音或震动时，应立即停止操作，检查设备是否损坏，必要时进行维修。

-抛光过程中，如发现磨液浓度异常或污染，应立即停止操作，更换磨液或进行清洁处理。

-作业区域如有化学品泄漏，应立即关闭相关设备，使用合适的防护措施进行处理，并通知相关部门。

-在任何异常情况下，操作人员应保持冷静，按照应急预案进行处置，确保自身和他人的安全。

四、操作过程中设备的状态

1.正常状态指标：

-抛光机运行平稳，无异常噪音和震动。

-设备温度在正常范围内，无过热现象。

-电机运转顺畅，无异常的摩擦或磨损声音。

-抛光轮表面磨损均匀，无明显的磨损不均或损坏。

-磨液供应稳定，流量和压力符合工艺要求。

-抛光过程中的电流和电压波动在允许范围内。

-安全防护装置（如紧急停止按钮、防护罩等）处于正常工作状态。

2.异常现象识别：

-抛光机出现剧烈震动或异常噪音，可能是因为轴承损坏、传动系统故障或磨轮不平衡。

-设备温度异常升高，可能是由于冷却系统故障或长时间连续工作导致过热。

-电机出现异响或过热，可能是电机内部故障或供电问题。

-磨液供应不稳定或流量异常，可能是管道堵塞、泵故障或磨液配制不当。

-电流和电压波动过大，可能是供电系统不稳定或设备负载过大。

3.状态监测方法：

-通过听觉观察设备运行时的噪音和震动，及时发现异常。

-使用温度计或红外测温仪定期检测设备温度。

-观察电机运行状态，如电流表读数和电机表面温度。

-检查磨轮表面磨损情况，确保抛光均匀。

-通过压力表和流量计监测磨液的供应状态。