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飞秒激光构建新型光纤微腔MZI：传感特性、创新与应用

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，光纤传感器在生物医学、环境监测、工业制造等众多领域展现出了巨大的应用潜力。其中，光纤微腔马赫-曾德尔干涉仪（MZI）传感器以其高灵敏度、高分辨率和良好的稳定性等特点，备受关注。

飞秒激光作为一种先进的微加工技术，具有超短脉冲、高峰值功率、高光谱纯度等显著优势。在微纳加工领域，飞秒激光能够在极短的时间内将能量高度集中在极小的区域，实现对材料的高精度加工。与传统加工方法相比，飞秒激光加工具有热影响区小、加工精度高、可加工材料种类多等优点，能够制备出具有复杂结构和优异性能的微纳器件。在光通信领域，飞秒激光可用于制作高性能的光纤光栅、光波导等光器件，提高光信号的传输效率和稳定性。在光电子学领域，飞秒激光可用于制备纳米结构的光电器件，拓展光电器件的应用范围。

利用飞秒激光制作光纤微腔MZI，能够得到更加精确的结构和更好的性能。飞秒激光写制的光纤微腔MZI为全光纤结构，这使其具有耐高温、环境适用性强等突出优势，在化学、生物检测及环境监测等领域具有潜在的应用价值。而且，这种新型干涉仪制作方法简便、重复性好，有望实现批量生产，为其大规模应用奠定了基础。

目前，对于光纤微腔MZI传感特性的研究已取得了一定进展，但仍存在一些问题和挑战。一方面，传统的光纤微腔MZI在某些特殊环境下的性能有待提高，如在高温、高压、强电磁干扰等恶劣环境中，其稳定性和可靠性面临考验。另一方面，对于飞秒激光写制的新型光纤微腔MZI，其独特的结构和光学特性还需要进一步深入研究，以充分挖掘其传感潜力。因此，开展飞秒激光写制新型光纤微腔MZI传感特性的研究具有重要的理论意义和实际应用价值。通过深入研究，可以进一步完善光纤微腔MZI的理论体系，为其优化设计和性能提升提供理论依据。在实际应用中，有助于开发出高性能、高可靠性的光纤传感器，满足生物医学、环境监测、工业制造等领域对高精度传感技术的需求，推动相关领域的技术进步和发展。

1.2研究目的与创新点

本研究旨在利用飞秒激光写制新型光纤微腔MZI，并深入研究其传感特性，进一步探究其在生物传感和环境检测等领域的应用潜力。具体而言，通过探索和优化飞秒激光微加工系统的加工参数以及微腔的结构参数，设计并研制出高性能的非平行壁光纤微腔MZI。深入分析该新型微腔干涉仪的光学特性，包括光程差、微腔总损耗等与波长的关系，建立准确的理论模型和分析方法。系统研究新型非平行壁光纤微腔MZI的传感特性，如温度传感灵敏度、流体折射率传感灵敏度等，并评估其在实际应用中的可行性。

本研究的创新点主要体现在以下几个方面：提出非平行壁光纤微腔MZI新模型并初步建立了分析理论，用于解释飞秒激光写制的光纤微腔出现的光程差随波长增大而线性减小、微腔总损耗随波长增大呈递减变化等反常现象，为该领域的研究提供了新的理论视角。利用飞秒激光微加工辅以化学腐蚀法，设计并研制出在水溶液中干涉条纹对比度高达35dB的非平行壁光纤微腔MZI，通过优化系统各加工参数，在一定程度上实现了对微腔侧壁倾斜角度的控制，为制备高性能的光纤微腔MZI提供了新的方法和途径。将新型非平行壁光纤微腔MZI应用于流体传感实验研究，获得了蔗糖水溶液折射率灵敏度高达-12937.31±295.62nm/RIU和-15995.20±120.16nm/RIU，展示了该新型传感器在高精度“点”式测量方面的独特优势，为其在生物传感、环境检测等领域的应用开辟了新的方向。

1.3研究方法与技术路线

本研究综合运用多种研究方法，以确保研究的全面性和深入性。采用飞秒激光微加工技术，利用飞秒激光器的超短脉冲和高峰值功率特性，在光纤上精确写制微腔结构。通过调节飞秒激光的脉冲宽度、重复频率、功率等参数，以及聚焦显微物镜的数值孔径等系统加工参数，探索最佳的微腔制备条件。同时，结合化学腐蚀法，对微腔结构进行进一步优化，以提高微腔的性能。运用理论分析方法，建立非平行壁光纤微腔MZI的理论模型，从光学原理的角度深入分析微腔的光波传输损耗、吸收损耗、插入损耗、材料红外吸收损耗等对干涉条纹对比度的影响，以及微腔深度、侧壁倾斜角度等参数对干涉谱峰值位置的影响。通过数值模拟，对理论分析结果进行验证和补充，为实验研究提供理论指导。开展实验测试，利用波导自动分析仪、光谱仪、中心波长仪等设备，对光纤微腔MZI的光谱特性、品质因子、变形特性等进行全面测试。在不同的环境条件下，如不同温度、不同折射率的流体环境中，测试传感器的传感性能，获取实验数据，并与理论分析结果进行对比分析，验证理论模型的正确性和可靠性。

本研究的技术路线如下：在前期准备阶段，学习和掌握相关的光学和光电测量