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真空镀膜机操作与维护标准指导书

前言

本指导书旨在规范真空镀膜机的操作流程与日常维护保养工作，确保设备长期稳定运行，保障镀膜产品质量，并最大限度地延长设备使用寿命。本指导书适用于本单位内所有相关型号真空镀膜机的操作人员及设备维护人员。操作人员在独立上岗前，必须经过本指导书内容的培训及实操考核，合格后方可操作设备。

一、设备操作流程

1.1开机前准备与检查

1.安全检查：

*确认设备供电、供水（如冷却系统）、供气（如压缩空气、工作气体）连接正常，无泄漏、松动现象。

*检查设备接地是否良好，急停按钮是否处于正常工作状态。

*清理设备周围环境，确保操作空间畅通，无易燃易爆物品及无关杂物。操作人员需佩戴好相应的防护用品（如耐高温手套、护目镜等，根据工艺需求）。

2.设备状态检查：

*检查真空腔体内是否清洁，有无遗留杂物、工具或上次镀膜残留的飞溅物。必要时进行清洁处理。

*检查靶材（如金属靶、陶瓷靶）的消耗情况，确保其厚度满足本次镀膜需求，安装牢固，与电极接触良好。

*检查基片架、夹具是否完好，安装是否稳固。

*检查各阀门（手动阀、气动阀）是否处于正确的初始状态（通常为关闭状态，除特定抽气通路外）。

*检查真空泵油位是否在规定范围内，油色是否正常，有无乳化或变质现象。

3.工艺参数确认：

*根据待镀工件的工艺要求，准备好相应的工艺文件，并确认基片的清洗及预处理是否合格。

*将基片按要求正确、牢固地装夹在基片架上，确保基片在镀膜过程中不会松动或掉落。

1.2开机与抽真空操作

1.启动控制电源：打开设备总电源开关，再开启控制机柜电源，使控制系统上电。

2.粗抽真空：确认真空腔体门已关闭并锁紧。操作面板上启动机械泵（或前级泵），打开前级阀（或粗抽阀），对腔体进行粗抽。观察真空计读数，当达到粗抽真空度要求（通常为几Pa至几十Pa，具体参照设备说明书或工艺文件）时，准备进行下一步。

3.精抽真空：在粗抽达到规定值后，关闭前级阀（或粗抽阀），启动分子泵（或扩散泵等主泵）。待主泵达到稳定工作状态后，缓慢打开主阀，开始对腔体进行高真空抽气。密切关注真空计读数，直至达到工艺要求的真空度（通常为10^-3Pa量级或更高）。此过程中如发现真空度上升缓慢或不上升，应立即停止操作，检查原因。

1.3镀膜过程控制

1.基片预处理（如需要）：根据工艺要求，启动基片加热系统，将基片加热至设定温度并保温。如需进行离子轰击清洗，在达到预定真空度后，通入适量的清洗气体（如氩气），启动偏压电源，进行基片表面清洁处理，设定好轰击时间和功率。

2.靶材起辉与预溅射（如需要）：对于溅射镀膜，在正式沉积前，可对靶材进行预溅射，以去除靶材表面氧化层或污染物。此时应关闭基片挡板，通入适量工作气体，调整好工作气压，启动相应靶位的溅射电源，进行短时预溅射。

3.沉积薄膜：

*打开基片挡板（如使用），确保基片处于沉积区域。

*按照工艺文件设定的参数（如溅射功率/电流、蒸发电流/电压、工作气体种类及流量、沉积时间、基片偏压、沉积速率等）进行调节。

*启动相应的沉积电源（溅射电源或蒸发电源），开始镀膜。

*镀膜过程中，应密切监控各项工艺参数（真空度、温度、沉积速率、电源参数等）的稳定性，如有异常波动，应及时微调或按工艺要求处理。同时，注意观察设备有无异响、异味、异常发热等情况。

*若为多层膜或复合膜，需按照预定顺序依次切换靶位或调整工艺参数。

1.4关机与取片操作

1.停止沉积：达到设定的镀膜时间或膜厚后，先关闭沉积电源，停止溅射或蒸发。

2.关闭工作气体：关闭各工作气体阀门，停止供气。

3.（可选）后处理：根据工艺要求，可进行适当的退火或冷却处理。

4.关闭主阀与主泵：确认沉积完全停止且无需保持高真空后，关闭主阀。然后按操作规程关闭分子泵（或扩散泵），注意分子泵需在其转速降至安全范围或完全停转后才能关闭其电源；扩散泵则需先关闭加热，待充分冷却后再关闭前级泵。

5.破空与取片：确认主泵已安全关闭后，通过充气阀向真空腔体缓慢充入干燥的惰性气体（如氮气）或洁净空气，直至腔体内外压力平衡。打开腔体门，小心取下镀好的基片，注意避免烫伤或损坏膜层。

1.5停机操作

1.清理腔体内可能的靶材飞溅物或杂物，保持腔体内部清洁。

2.关闭机械泵（或前级泵），关闭前级阀。

3.依次关闭控制机柜电源、设备总电源。

4.整理好工具、工件及工艺文件，清洁操作台面。

二、设备维护保养

2.1日常维护保养（每日/每次使用后）

1.清洁：

*清洁真空腔体外部及操作面板，去除油污、灰尘。

*及时清理腔体内的靶材碎屑、蒸发舟残留物等，可用专