真空镀膜设备收放系统用多电机协同控制分析.pdfVIP

自动控制电工技术

真空镀膜设备收放系统用多电机协同控制分析*

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刘长林陆艳君安辉田玉宝邓文宇齐丽君安跃军

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1.沈阳工业大学电气工程学院辽宁沈阳1108702.沈阳芯源微电子设备股份有限公司辽宁沈阳110168

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3.沈阳中北通磁科技股份有限公司辽宁沈阳110159

摘要:,,

为改善真空镀膜设备多电机协同控制系统的稳定性与协同性将自抗扰控制应用于电机调速控制系统并

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与传统控制进行对比分析验证了其较强的抗干扰能力基于自抗扰控制针对外界扰动下多台电机间转速同步

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误差较大问题提出一种改进型偏差耦合控制的速度补偿器其与传统方式相比多电机间同步误差减小39.22%

恢复时间缩短75%,真空镀膜设备张力波动降低57.78%。

关键词:;;;;

多电机协同控制收放系统自抗扰控制偏差耦合控制真空镀膜设备

中图分类号:;:/

TM351TM301.2DOI10.19768.cnki.ds.2024.18.008

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