并联式六维加速度_力感知机构的设计及分析.pdfVIP

第44卷第5期振动、测试与诊断Vol.44No.5

2024年10月JournalofVibration，MeasurementDiagnosisOct.2024

DOI:10.16450/j.cnki.issn.1004‐6801.2024.05.023

并联式六维加速度/力感知机构的设计及分析∗

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史浩飞，尤晶晶，姜杰凤，李成刚，黄磊，石雨婷

（1.南京林业大学机械电子工程学院南京，210037）

（2.杭州师范大学工学院杭州，310036）

（3.南京航空航天大学机电学院南京，210016）

摘要为了解决感知机构对加速度和力信息同时反馈的问题，设计了一种基于3‐RPR平面并联机构的六维加速

度/力感知机构，推导了解耦算法，分析了解耦精度、灵敏度与结构参数之间的关联。首先，综合运用Angeles特征

长度法和Gosselin奇异分析法，绘制了并联机构的奇异曲面；其次，设计了感知机构的结构模型，分别运用Kane方

程和静力平衡方程推导了加速度、力解耦算法；然后，基于半闭环思想，构建了加速度误差补偿算法；最后，通过

分析并联机构的静刚度矩阵，推导多维传感器灵敏度的定义式，揭示了结构参数对解耦精度和灵敏度的影响规律。

实验结果显示，线加速度、角加速度、力及力矩的解耦误差分别小于8.8242×10-4，4.2914×10-6，0.4461×10-6和

8.6297×10-6，为感知机构的尺度综合提供理论指导。

关键词加速度测量；力学测量；并联机构；奇异性；静刚度；灵敏度

中图分类号TH825

引言三维力时存在精度低、维间强耦合等问题，设计了一

种三维力传感器，采用十字梁结构，从机械解耦的角

加速度测量与力测量是感知物体空间运动状态度出发降低了维间耦合，提高了精度。

和受力状态的重要途径。随着微机电系统现有的研究都仅局限于三维加速度测量或三维

（micro‐electro‐mechanicalsystem，简称MEMS）技力测量，但在很多场合需要同时测量并反馈三维加

术的不断发展，加速度/力传感技术日趋成熟，并在速度和三维力信息，而目前还没有传感器能够实现

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惯性导航、振动测试等领域得到广泛应用。在工这样的功能。鉴于此，笔者设计了一种集三维加速

业领域中，多维加速度/力传感器的应用是制造业领度传感器和三维力传感器于一体的组合式六维传感

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域中的关键环节。器，分别推导了其解耦算法，并分析了结构参数对解

基于测量原理，加速度传感器可分为压电式、电耦精度和灵敏度的影响，为进一步优化设计奠定了

容式和电阻式等，各类传感器的结构设计也有所不理论基础。