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年第卷第期传感器与微系统（）
２０２５４４８ＴｒａｎｓｄｕｃｅｒａｎｄＭｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ１１５
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ＤＯＩ：１０．１３８７３／Ｊ．１０００９７８７（２０２５）０８０１１５０５
高灵敏度梳齿式加速度计设计与分析
ＭＥＭＳ
朱晓萌，许高斌，高雅，张宇，冯建国，尤锦涛１１１１１２
（１．ＭＥＭＳ２３０００９
合肥工业大学微电子学院安徽省工程技术研究中心，安徽合肥；
２．蔚来汽车科技（安徽）有限公司，安徽合肥２３０００９）
摘要
：针对车身动态悬架和车辆底盘控制的加速度计存在灵敏度低、抗干扰能力差的问题，设计了一种
高灵敏度梳齿式ＭＥＭＳ加速度计。该加速度计采用多组不等高梳齿结构增加梳齿电极的数量，单边凹槽
和阻尼孔的组合减小阻尼的同时，偏移了敏感质量块的质心，增大了偏转角度，有效地提高了加速度计的
灵敏度。挠性梁在敏感轴方向的位移远高于、非敏感轴，、轴的耦合误差分别为、，
ＺＸＹＸＹ１．４２％０．０１％
ＣＯＭＳＯＬ
具有良好的抗交叉轴干扰能力。利用仿真软件对敏感结构进行静力学、模态与谐响应分析。结
果表明，该加速度计量程为，抗过载能力超过，灵敏度为，固有频率约为。最
１６ｇｎ５００ｇｎ３．９ｆＦ／ｇｎ１．４ｋＨｚ
后基于绝缘体上硅（）技术设计了加速度计的工艺流程。
ＳＯＩ
关键词：加速度计；小量程；梳齿结构；单侧阻尼孔；绝缘体上硅技术
中图分类号：；文献标识码：文章编号：—（）——
ＴＰ２１２ＴＨ８２５Ａ１０００９７８７２０２５０８０１１５０５
ＤｅｓｉｇｎａｎｄａｎａｌｙｓｉｓｏｆｃｏｍｂｔｏｏｔｈｔｙｐｅＭＥＭＳ
ａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒｗｉｔｈｈｉｇｈｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ
ＺＨＵＸｉａｏｍｅｎｇＸＵＧａｏｂｉｎＧＡＯＹａＺＨＡＮＧＹｕＦＥＮＧＪｉａｎｇｕｏＹＯＵＪｉｎｔａｏ１１１１１２
，，，，，
（１．ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍＲｅｓｅａｒｃｈＣｅｎｔｅｒｏｆＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ
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