高平均功率单频824nm纳秒光学参量振荡器的研究.pdfVIP

中文摘要

高平均功率单频纳秒光学参量振荡器（OPO）因其具备较宽的波长调谐范围、

较窄的线宽以及易于集成等优点，可以被广泛应用于激光雷达、激光光谱分析、深

紫外激光光源制备等科研和技术领域。到目前为止，种子光注入锁定技术是实现高

平均功率单频纳秒OPO的最主要方法之一。然而在种子光注入锁定过程中，OPO

的品质不仅决定于种子光光源本身的性能，而且很大程度上依赖于锁定技术和锁定

方法的可靠性和可操作性。这就要求我们不仅要研制性能稳定、可靠性强的单频种

子激光光源，而且要开发新的能满足高质量OPO种子光注入锁定的技术和方法。为

此，我们面向OPO发展前沿，针对目前OPO发展面临的“卡脖子”技术难题开展

了系列研究，主要研究内容有：

1.发展了一种基于差分探测技术的腔内标准具锁定方法，研制了泵浦噪声免疫

的全固态单频连续波宽调谐钛宝石激光器。为了实现单频钛宝石激光器的频率连续

调谐，通常需要给激光器内的标准具上加载一个低频调制信号。然而泵浦源低频段

的强度噪声很容易传递到钛宝石激光器中，进而淹没标准具锁定时所需的调制信号，

最终影响了标准具的锁定。为此，我们提出了一种差分探测技术，有效消除了泵浦

源低频段噪声对标准具锁定的影响，实现了标准具的精确锁定，大幅度提高了钛宝

3W3

石激光器的稳定性。激光器最高输出功率为，小时内激光器的功率波动为±

0.84%，波长宽调谐范围为122nm，连续频率调谐范围为24GHz，光束质量Mx2和

My2值分别为1.02和1.04。研制的泵浦噪声免疫的全固态单频连续钛宝石激光器可

以作为后续高平均功率单频824nm纳秒OPO的种子光光源。

2.发展了一种基于脉冲饱和探测技术的种子光注入锁定方法，研制了长期稳定

824nmOPOPound-Drever-HallPDH

运转的高平均功率单频纳秒。在采用（）技术进

行种子光注入锁定实现高功率单频纳秒OPO的过程中，高峰值功率的脉冲光很容易

将加载在种子光上的调制信号淹没，进而破坏了种子光注入的锁定效果，严重影响

了激光器的输出性能。为此，我们发展了一种脉冲饱和探测技术的种子光注入锁定

方法，利用集成运算放大器具备饱和输出电压的特性，显著降低了脉冲光引入的噪

声，提高了所获取的误差信号的信噪比，实现了高精度高稳定的种子光注入锁定，

最终实现了输出功率高达21.2W、线宽为38.8MHz的纳秒824nm激光输出，激光

15ns50kHz2±0.62%x

脉宽为，重频为，小时的平均功率稳定性为，激光光束在和

yM21.211.29

方向上的因子分别为和。

3.发展了一种基于脉冲积分探测技术的种子光注入自动锁定方法，研制了一种

操作简便、结构紧凑、成本较低的高平均功率单频824nm纳秒OPO。在研制高平

均功率单频纳秒OPO的过程中，通过扫描谐振腔长度，可以获得包括单频连续种子

光和脉冲光之间谐振信息的周期性干涉信号。然而高峰值功率的脉冲光不仅容易淹

没干涉信号，而且同样会使探测器饱和。为此，我们进一步发展了一种基于脉冲积

分探测技术的种子光注入锁定方法，设计的脉冲积分探测器可以对光电二极管探测

到的脉冲光进行积分，使脉冲光的峰值功率转换为平均功率信号，获得高信噪比的

干涉信号。在此基础上，采用最小值搜索方法并结合微控制器（MCU）成功实现了

OPO种子光注入的自动锁定，最终实现了输出功率为20.5W、线宽为51.42MHz的

824nm1.7±1.6%xy

单频纳秒激光输出，小时的平均功率稳定性为