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摘要
摘要
在太赫兹波段的天文探测器中，超导SIS混频器作为探测器的核心器件，其
性能直接取决于超导SIS隧道结的结构。考虑到此类隧道结的工作频率上限受其
超导层的能隙制约，目前高能隙的NbTiN已成为提升器件性能的理想候选材料。
因此，系统研究高质量超导NbTiN薄膜的制备工艺，对突破现有器件的性能瓶
颈具有重要意义。
本论文围绕超导NbTiN薄膜开展制备和性能的研究，取得的主要研究结果
如下：
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