原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
大面积高精度磁控溅射匀胶铬版技术总结报告
2002-10-08
一、研制依据
1、市场需求：近年来国内LCD产业迅速发展，用菲林作为光掩膜版已不能
满足生产需求，必须寻找一种比菲林掩模精度更高、稳定性更好、使用
更长更适用于大规模生产使用的光掩模。即大面积高精度光刻掩膜
版。
2、技术储备：美精微是菲林掩模专业厂家，在多年的研发生产过程中，掌
握了CAD/CAM技术及菲林掩模、铬版制作等生产工艺。同时，本公司培
养了一批设计、安装和工艺方面的技术骨干，形成了较强的研究、开发
和生产的技术队伍。
结合以上情况，我们看到了一个光明的前景，设计方案如下：
CAD/CAM——菲林——拷贝铬版
镀制铬版
CAD/CAM——激光直写光刻——光刻铬版
3、国内外现状：拷贝铬版和光刻铬版制作都须以光刻掩模版版材——即大
面积高精度匀胶铬版为原料。目前世界范围内，大面积高精度匀胶铬版项
目产品的技术、生产主要由2家公司控制（Ulcoat和Clean
Surface）。他们是大陆Cr版掩膜版生产企业（美精微、清溢）以及
、、新加波和、欧洲等厂家的唯一供应，其生产周期长
（2个月左右）并价格昂贵（USD500USD1200/片）。
在国内，因为进行这个项目的生产研制投资大、周期长、技术要求高，
配套设备都须从国外引进，因此，很少有企业能涉足这一领域。同时，抛
光、检验、镀膜技术一直是众多生产厂家的瓶颈。因此大面积光刻铬版原
材料生产——匀胶铬版的制造尚处于萌芽阶段。
国内研制本项目所采用的方式以及具体研制情况如下：
公司名称生产产品尺寸成膜条件研发状态
长沙韶光光刻铬版版材小尺寸热蒸发主要致国于IC生产用的
微电子总IC用小铬版生产，也有少量大尺
公司寸铬版生产，但未形成大铬
版生产线及成套工艺
福州光学光刻铬版版材小尺寸热蒸发研究室小批量研制
美精光刻铬版版材大尺寸磁控溅射掌握成套工艺，有中试
微生产线，已稳定生产小批量
产品
综合上述，美精微决定借助自已的研发力量率先运用磁控溅射的技
术，开发出自己的高精度光刻铬版掩模版的原材料——大面积高精度匀胶铬
版。用以打破国际市场的，替代进口，自产自用同时用于对外销售，为
光刻铬版原材料贡献一份力量，为国内平板显示器专业制版厂家造
福。
因此，经公司多次研究及调研，决定组建匀胶铬版制造用镀膜生产线。二、
研制过程
1、技术方向
Summaryreportonlarge-areahigh-precisionron
文档评论（0）