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微电子加工新技术的应用与挑战研究
目录
内容概括．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.2微电子加工技术发展概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
1.3新兴微电子加工技术分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10
1.4本文研究内容与结构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
微电子加工关键技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15
2.1晶圆制备技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
2.1.1晶圆生长技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
2.1.2晶圆清洗与制备工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
2.2光刻技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
2.2.1光刻原理与工艺流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
2.2.2光刻技术发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
2.3薄膜沉积技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
2.3.1化学气相沉积技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
2.3.2物理气相沉积技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
2.4微电子加工其他关键技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
2.4.1热处理技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44
2.4.2刻蚀技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．46
2.4.3接合技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47
新兴微电子加工技术应用研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50
3.1高精度光刻技术应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51
3.1.1极紫外光刻技术及其应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54
3.1.2电子束光刻技术及其应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．56
3.2新型薄膜沉积技术应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．60
3.2.1超晶圆膜技术应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．62
3.2.2碳纳米管薄膜技术应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．63
3.3增材制造技术在微电子加工中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．67
3.3.13D打印技术在微电子器件制造中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．68
3.3.24D打印技术在微电子器件制造中的应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．71
3.4其他新兴技术应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．73
3.4.1自组装技术及其应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．75
3.4.2基于人工智能的微电子加工技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．78
微电子加工新技术面临的挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．79
4.1技术挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．81
4.1.1高精度光刻技术挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．83
4.1.2新型薄膜沉积技术挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．87
4.1.3增材制造技术挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．89
4.1.4其他新兴技术挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．92
4.2成本挑战．．．．．．．．．．
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