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第4章电容式传感器
CapacitiveSensors
第4讲电容式传感器
电容式接近开关在物位测量控制中的使用演示
武汉理工大学机电工程学院
第4讲电容式传感器
4.1电容式传感器的工作原理和特性
4.1.1工作原理及类型
工作原理：电容式传感器是以各种类型的电容器作为传感
元件，将被测物理量的变化转换为电容量的变化。
结构组成：电容式传感器由电容量可变的电容器（敏感元
件和转换元件）和测量电路组成，其变量间的转换关系原理如
图所示。
应用：压力、位移、厚度、加速度、液位、物位、湿度和成
分含量等测量之中。
武汉理工大学机电工程学院
第4讲电容式传感器
接近开关
三轴加速度
压差变送器传感器物位开关
湿敏电容电容式液位计
武汉理工大学机电工程学院
第4讲电容式传感器
由物理学可知，当忽略电容器+
S
边缘效应时，对图示平行极板电
容器，电容量为εd
r
SS
0r
C_
dd
ε为介电常数；
在S、d、ε三个参量中，改变其中任意一个量，均可使电
容量C改变。也就是说，如果被检测参数(如位移、压力、
液位等)的变化引起S、d、ε三个参量中之一发生变化，就可
利用相应的电容量的改变实现参数测量。据此，电容式传感
器可分为以下三大类：
(1)极距变化型电容传感器；
(2)面积变化型电容传感器；
(3)介质变化型电容传感器。
武汉理工大学机电工程学院
第4讲电容式传感器
4.1.2电容传感器特性分析
1.极距变化型电容式传感器
SS
设初始电容为：C00r0
dd
00
当间隙d减小Δd时,则电容量增大ΔC，则：
0
SSSdd
CCC0r0r0rC
00
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