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公司半导体器件和集成电路电镀工职业健康、安全、环保操作规程

文件名称：公司半导体器件和集成电路电镀工职业健康、安全、环保操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司半导体器件和集成电路电镀工的日常操作。本规程旨在确保电镀过程中员工职业健康、生产安全及环境保护。操作人员须严格遵守国家相关法律法规和公司规定，确保电镀工艺的顺利进行。规程包括但不限于设备操作、物料管理、环境保护、职业健康和安全防护等方面。

二、操作前的准备

1.防护用具的使用

操作人员必须佩戴符合国家标准的防护用具，包括但不限于：

-防护眼镜：防止化学液体飞溅入眼。

-防护手套：选用适合电镀液腐蚀性的手套，如耐酸碱手套。

-防护服：选用防静电、防腐蚀的工作服。

-防护口罩：防止吸入有害气体或粉尘。

使用时，确保防护用具无破损，正确佩戴，并定期更换。

2.设备启机前的检查项目

-检查电镀设备是否清洁，避免杂质影响电镀质量。

-检查设备各部件是否完好，尤其是电源线、电极、导电片等关键部位。

-检查电镀液成分和浓度是否符合要求，如有异常及时更换或调整。

-检查控制系统是否正常，包括电流、电压、温度等参数设置是否准确。

-检查冷却系统是否工作正常，确保电镀过程中设备温度稳定。

-进行空载试验，检查设备在无负载情况下的运行是否平稳。

3.作业区域的准备要求

-清洁作业区域，确保无杂物和残留化学物质。

-检查通风系统是否有效，确保空气流通，降低有害气体浓度。

-确保紧急停机按钮和消防器材等安全设施完好可用。

-检查电镀液储存容器是否密封良好，防止泄漏。

-检查废水排放系统是否正常，确保废水处理设施处于待用状态。

-确保操作区域有足够的照明，便于操作和监控。

在完成上述准备工作后，操作人员方可开始电镀工作。任何不符合安全要求的情况都应立即报告并予以纠正。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作或工艺执行的步骤流程

-安装电镀液：根据配方准确配制电镀液，倒入电镀槽中，注意避免液体飞溅。

-检查设备：确保设备各部分正常，包括电源、电极、控制系统等。

-启动设备：按顺序开启电源、控制系统，调整电流、电压、温度等参数至设定值。

-放置工件：将待电镀的工件放置在挂具上，确保工件与电极接触良好。

-开始电镀：启动电镀程序，监控电镀过程，包括电流、电压、时间等参数。

-电镀结束：电镀完成后，关闭电源，取出工件，进行清洗和检查。

-清理设备：清洗电镀槽和设备，更换电镀液，准备下一次操作。

2.特殊工序的操作规范

-防腐蚀处理：在电镀前对工件进行防腐蚀处理，确保电镀层牢固。

-高温电镀：严格控制温度，避免过高温度导致工件变形或电镀液分解。

-精密电镀：调整电流密度和电镀时间，确保电镀层厚度均匀，无气泡和裂纹。

3.异常工况的处理方法

-设备故障：发现设备故障时，立即停止操作，切断电源，通知维修人员。

-电镀液异常：若电镀液出现异常，如颜色变化、沉淀物等，应立即停止电镀，分析原因，必要时更换电镀液。

-安全事故：如发生安全事故，如化学品泄漏、火灾等，应立即启动应急预案，确保人员安全，并报告上级。

-环境污染：若发现环境污染情况，应立即停止相关操作，采取措施控制污染源，并通知环保部门。

在操作过程中，操作人员应时刻保持警惕，对任何异常情况都要有预案和应对措施，确保操作的安全性和有效性。

四、操作过程中机器设备的状态

1.设备运行时的正常工况参数

-电流：设备运行时，电流应稳定在设定值，波动范围在±5%以内。

-电压：电压应保持稳定，波动范围在±5%以内，避免电压过高或过低影响电镀效果。

-温度：电镀液温度应控制在工艺要求的范围内，通常为20-40℃，避免温度过高导致溶液分解或工件变形。

-流量：电镀液循环泵应保持稳定的流量，通常为每分钟一定升数，以保证电镀液均匀循环。

-压力：系统压力应保持在正常范围内，避免过高或过低对设备造成损害。

2.典型故障现象

-电流异常：电流突然增大或减小，可能是因为电极接触不良、电路故障或电镀液成分变化。

-电压波动：电压不稳定，可能是因为电源问题、负载不平衡或设备故障。

-温度失控：温度过高或过低，可能是因为温度控制器故障、冷却系统问题或电镀液配制不当。

-流量不足：循环泵不工作或流量减少，可能是因为泵故障、管路堵塞或控制系统问题。

-压力异常：压力过高或过低，可能是因为阀门故障、管路泄漏或泵性能下降。

3.状态监测的操作要求

-定期检查：操作人员应定期检查设备各部件，包括电极、电源线、控制系统等。

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