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光波导理论基础（第3版）：光波导的制备PPT教学课件.pptx

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    光波导理论基础;内容;12.1概述

    ;12.2光纤制造

    ;12.3薄膜制备

    12.3.1蒸发法TE(ThermalEvaporation);12.3薄膜制备

    12.3.2直流磁控溅射法DCMagnetronSputtering;12.3薄膜制备

    12.3.3中频、射频磁控溅射法MFMS、RFMS;12.3薄膜制备

    12.3.4脉冲激光沉积法PLD(Pulsedlaserdeposition)

    ;12.3薄膜制备

    12.3.5离子注入法(Ionimplantation);12.3薄膜制备

    12.3.6薄膜

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