传感器与检测技术张朝霞72课件.pptVIP

传感器与检测技术主讲教师：张朝霞知功能-压阻式传感器识结构-压阻式传感器析原理-压阻式传感器力检测-压阻式传感器1、压阻式传感器的功能压阻式传感是利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后，电阻率发生变化，通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。压阻式传感器用于压力、拉力、压力差以及可以转变为力的变化的其他物理量（如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度）的测量和控制。（1）一种是利用半导体材料的电阻制作成半导体应变计，其灵敏度比金属应变计高两个数量级。（2）一种是利用半导体集成工艺中的扩散技术，将4个半导体应变电阻制作在同一硅片上，制成扩散硅压阻式传感器。2、压阻式传感器的结构压阻式传感器的类型半导体电阻应变片由硅膜片、外壳和引线组成。核心是硅膜片（作为弹性敏感元件）。半导体电阻应变片的结构2、压阻式传感器的结构2、压阻式传感器的结构压阻式压力传感器的结构当膜片两边存在压力差时，膜片产生变形，膜片上各点产生应力。其上的四个电阻在应力作用下，阻值发生变化，电桥失去平衡，输出与膜片两边的压力差成正比的电压值。半导体材料受到外力作用变化时，其电阻率发生变化，这种现象称为压阻效应。式中——材料的压阻系数；——材料所受的应力;——材料的灵敏系数;——材料的应变。压阻式传感器的灵敏系数大大高于金属电阻应变片的灵敏系数，大约是其50～100倍，这也是压阻式传感器的突出优点。3、压阻式传感器的工作原理压阻效应由于半导体材料的各向异性，在实际应用中，外界应力施加方向不同，其压阻系数是不同的。式中、——纵向压阻系数和横向压阻系数，大小由所扩散的晶向决定；、——纵向应力和横向应力，其状态由扩散电阻所处的位置决定。3、压阻式传感器的工作原理压阻式传感器的工作原理主要是基于压阻效应，而压阻效应是在半导体材料上施加作用力时，其电阻率发生显著变化的现象。3、压阻式传感器的工作原理1．压阻式传感器的功能2．压阻式传感器的结构小结3．压阻式传感器的工作原理继续努力吧！**扩散硅式：这种传感器由于工艺一致性好，灵敏度高等，因此漂移抵消、迟滞、蠕变非常小，动态响应快，测量精度高，稳定性好，温度范围宽，易小型化，能批量生产且使用方便。*（二）半导体电阻应变片的特性半导体应变片最突出的优点是灵敏度高，这为它的应用提供了有利条件。另外，由于机械滞后小、横向效应小以及它本身体积小等特点，扩大了半导体应变片的使用范围。其最大的缺点是温度稳定性差、灵敏度离散程度大（由于晶向、杂质等因素的影响）以及在较大应变作用下非线性误差大等，给使用带来一定困难。*压阻式压力传感器硅膜片两边有两个压力腔，一个是与大气相通的低压腔，另一个是与被测压力相连接的高压腔。当膜片两边存在压力差时，膜片产生变形，膜片上各点产生应力。其上的四个电阻在应力作用下，阻值发生变化，电桥失去平衡，输出与膜片两边的压力差成正比的电压值。△P——F——△R——△U**析原理-电阻应变式传感器****扩散硅式：这种传感器由于工艺一致性好，灵敏度高等，因此漂移抵消、迟滞、蠕变非常小，动态响应快，测量精度高，稳定性好，温度范围宽，易小型化，能批量生产且使用方便。*（二）半导体电阻应变片的特性半导体应变片最突出的优点是灵敏度高，这为它的应用提供了有利条件。另外，由于机械滞后小、横向效应小以及它本身体积小等特点，扩大了半导体应变片的使用范围。其最大的缺点是温度稳定性差、灵敏度离散程度大（由于晶向、杂质等因素的影响）以及在较大应变作用下非线性误差大等，给使用带来一定困难。*压阻式压力传感器硅膜片两边有两个压力腔，一个是与大气相通的低压腔，另一个是与被测压力相连接的高压腔。当膜片两边存在压力差时，膜片产生变形，膜片上各点产生应力。其上的四个电阻在应力作用下，阻值发生变化，电桥失去平衡，输出与膜片两边的压力差成正比的电压值。△P——F——△R——△U**析原理-电阻应变式传感器**