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§4.3扫描电镜成像的衬度原理
讲授人：XXX
《材料表征基础》
战略性新兴领域“十四五”高等教育系列教材
1.二次电子成像原理及其衬度
二次电子来源
入射电子束
多重散射
背散射
二次电子产率（δ）
1.二次电子成像原理及其衬度
二次电子成像衬度及其应用
1）形貌衬度
样品表面与电子束夹角不同
样品表面与探测器的收集角不同
镀有金的食盐晶体的二次电子图像
2）Z衬度
二次电子产率与原子序数有关
3）电位衬度
样品表面电势分布差异
1.二次电子成像原理及其衬度
二次电子成像衬度及其应用
1）形貌衬度
样品表面与电子束夹角不同
样品表面与探测器的收集角不同
（a）二次电子产率δ和（b）背散射电子
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