基于硫化锑的电调控异常反射超表面研究.pdfVIP

摘要

摘要

电磁超表面是一种厚度小、可集成的二维人工材料。超表面可以对表面电

磁波的相位、振幅以及偏振进行调控，进而实现各种各样的功能。传统超表面

存在一些弊端：一旦样品制备完成，超表面的结构固定其对入射光的调控能力

也随之固定，这将极大的限制超表面在传感，动态显示等领域的应用。可重构

超表面当样品制备完成后，其材料参数可以进行动态调控进而弥补传统超表面

的不足。另外，相变材料具有折射率对比度大，与半导体制备工艺兼容等优点。

相变材料的电调控相比光调控不需要复杂的光路和光源，设备体积更小集成度

更高并且与集成电路工艺更加兼容。所以用电调控相变材料与超表面相结合可

以实现动态可调的超表面进一步拓宽超表面在其他领域的应用。

基于上述背景，本文首先阐述异常反射超表面的原理，并根据异常反射原

理模拟设计了能够实现三阶相位偏转的动态异常反射超表面，根据光束偏转原

理计算出三阶相位的理论偏转角度为32°。探究了SbS的镀膜工艺，对比磁控

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溅射与热蒸镀的镀膜质量并最终选择通过热蒸镀制备SbS。由于其非晶态与

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晶态在1550nm处都没有吸收。实现了通过施加电压将几十平方微米的SbS

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从非晶态转变为晶态。随后进行样品制备对比尝试不同工艺参数最终确定3000

rpm，60s旋涂PMMA（A4），采用两步法旋涂导电胶，首先是190rpm低转

速旋涂30s，然后1100rpm高转速旋涂30s，电子束的曝光剂量确定为0.8dose。

上述工艺参数结合版图文件进行补偿最终制备出质量较高，尺寸与模拟接近的

样品。随后搭建相应光路测量样品的偏转角度，通过300℃加热5min以及搭

建的飞秒光路实现将样品从非晶态转变为晶态以及从晶态转变为非晶态，并且

29°0°0°29°

测量样品的偏转角度从偏转到又从偏转到。最后实现通过电调控

将样品从非晶态转变为晶态，偏转角度从29°偏转到0°并且实现中间态25°的偏

转角度。

关键词：相变材料；超表面；电调控；异常反射

--I

Abstract

Abstract

Electromagneticmetasurfaceisatwo-dimensionalartificialmaterialwith

smallthicknessandintegrability.Metasurfacescanregulatethephase,amplitude,

andpolarizationofsurfaceelectromagneticwaves,therebyachievingvarious

functions.Traditionalmetasurfacehavesomedrawbacks:oncethesample

preparationiscompleted,thestructureofthemetasurfaceisfixed,anditsabilityto

regulateincidentlightisalsofixed,whichgreatlylimitstheapplicationof

metasurfaceinsensing,dynamicdisplay,andotherfields.Afterthesample

preparationiscompleted,thematerialparametersofreconfigurablemetasurfacec