基于脉宽调制的激光稳频技术研究.pdfVIP

摘要

激光干涉仪是一种以激光波长为基准进行精密位移测量的仪器，凭借其具有

的可溯源性、非接触和高精度等诸多优点，在三坐标测量机、电子束刻蚀机、光

栅刻线机等高端精密装备制造加工等工业领域具有非常重大的应用前景和广阔的

市场需求。其中作为激光干涉测量技术的核心问题，激光稳频光源的频率准确度

直接制约着整个干涉测量系统所能达到的最高测量精度。而现有的稳频控制系统

效率低下、预热-锁频稳定时间长、频率复现性差，这严重限制了其在激光干涉仪

中的成熟应用。因此研究基于脉宽调制的高频率准确度快速激光稳频技术及仪器

对于激光干涉仪的产品化发展至关重要。

本文在双纵模热稳频的工作原理基础上深入分析了温度、光功率差对其输出

激光频率准确度的影响和表征作用，并针对现有稳频控制系统存在的以上问题，

设计并实现了基于脉宽调制的激光稳频控制系统。主要完成了以下研究工作：

（1）设计了以温度、光功率差为主要控制反馈变量的高精度控制变量反馈

系统，为实现为以温度为主要反馈控制量的高精度快速准确预热-锁频控制和输出

高频率稳定度和高频率复现性的实现提供了可靠的保障。

（2）设计了基于PWM脉宽调制的脉宽调制驱动电路以驱动加热薄膜实现双

纵模热稳频控制，具有效率高、热耗散小、稳定性和可靠性高、低延迟的优点，

可以实现高效、稳定、及时的预热-锁频控制。

（3）以脉宽调制稳频控制系统各环节的传递函数理论推导为基础，通过对

控制系统预热和锁频阶段的理论控制模型及控制特点分析，分别设计了基于PFC-

PI的预热控制算法和基于IMC-PID的锁频控制算法。

实验证明，本文所设计的脉宽调制稳频控制系统及预热、锁频控制算法可以

快速且准确地达到预热和锁频控制目标，预热-锁频稳定时间小于15min，稳定温

度漂移小于0.1℃，光功率差漂移量小于0.062%。经频率准确度评测系统初步测

试，频率稳定度约为1.9×10-9，频率复现性高达1.2×10-9，满足系统设计指标要求。

关键词：脉宽调制；频率稳定度；频率复现性；预热-锁频稳定时间

Abstract

Laserinterferometerisahigh-precisiondisplacementmeasurementinstrument

takinglaserwavelengthasreference.Withvirtuesofitstraceability,non-contactand

high-precisionandmanyotheradvantages,laserinterferometerhasaverysignificant

applicationprospectsandbroadmarketdemandinthecoordinatemeasuringmachine,

electronbeametchingmachine,gratingengravingmachineandotherhigh-endprecision

equipmentmanufacturingandprocessingandotherindustrialfields.Asthecoreoflaser

interferometrytechnology,thefrequencyaccuracyofthelaserlightsourcedirectly

restrictsthehighestmeasurementaccuracythattheinterferometricsystemcanachieve.

Theexistingfrequencystabilizationcontrolsystemischaracterizedbylowefficiency,

longwarm-up-frequencylockingstabilizationtime,andpoorfrequencyreproducibility,

whichseriouslylimi