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表面工程新材料制备的工艺优化与性能研究

目录

文档综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

1.1.1表面工程技术发展现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

1.1.2新型表面材料的迫切需求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

1.2.1国外研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

1.2.2国内研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

1.3研究目标与内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

1.3.1主要研究目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

1.3.2具体研究内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

1.4.1采用的研究方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

1.4.2技术路线图．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

表面工程新材料的制备方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28

2.1溅射沉积技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

2.1.1离子束辅助沉积．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

2.1.2等离子体增强溅射．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35

2.2喷涂技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

2.2.1液相喷涂．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42

2.2.2等离子体喷涂．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

2.3化学气相沉积．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

2.3.1低压力化学气相沉积．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

2.3.2高温化学气相沉积．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50

2.4其他制备方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．51

2.4.1电镀技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53

2.4.2溶胶凝胶法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55

表面工程新材料的工艺优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．59

3.1沉积参数优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．60

3.1.1阴极电压调控．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．63

3.1.2气氛成分控制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．65

3.2沉积前处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．67

3.2.1基底清洁．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．68

3.2.2表面活化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．70

3.3后处理工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．73

3.3.1热处理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．74

3.3.2离子注入．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．76

3.4工艺优化对性能的影响．．．．．．．