第7章 精密、超精密及微细加工工艺.pptxVIP

第7章精密、超精密及微细加工工艺1现代制造业持续不断地致力于提高加工精度和加工表面质量，主要目标是提高产品性能、质量和可靠性，改善零件的互换性，提高装配效率。超精密加工技术是精加工的重要手段，在提高机电产品的性能、质量和发展高新技术方面都有着至关重要的作用，因此，该技术是衡量一个国家先进制造技术水平的重要指标之一，是先进制造技术的基础和关键。超精密加工是指加工精度和表面质量达到极高程度的精密加工工艺，从概念上讲具有相对性，随着加工技术的不断发展，超精密加工的技术指标也是不断变化的。7.1概述

2目前，一般加工、精密加工、超精密加工以及纳米加工可以划分如下：加工等级加工精度表面粗糙度Ra加工举例一般加工10μm0.3~0.8μm如车、铣、刨、磨、镗、铰等，适用于汽车、拖拉机和机床等产品的制造。精密加工10~0.1μm0.3~0.03μm如金刚车、金刚镗、研磨、珩磨、超精加工、砂带磨削、镜面磨削和冷压加工等。适用于精密机床、精密测量仪器等产品中的关键零件的加工，如精密丝杠、精密齿轮、精密蜗轮、精密导轨、精密轴承等。超精密加工0.1~0.01μm0.03~0.05μm如金刚石刀具超精密切削、超精密磨料加工、超精密特种加工和复合加工等。适用于精密元件、计量标准元件、大规模和超大规模集成电路的制造。纳米加工0.005μm其加工方法大多己不是传统的机械加工方法，而是诸如原子分子单位加工等方法。

3超精密加工技术所涉及的技术领域包含了以下几个方面：加工技术主要有超精密切削、超精密磨料加工、超精密特种加工及复合加工。材料技术如超精密加工刀具磨具材料、刀具磨具制备及刃磨技术。加工设备及其基础元部件主要加工设备有超精密切削机床、各种研磨机、抛光机以及各种特种精密加工、复合加工设备。测量及误差补偿技术必须有相应精度级别的测量技术和装置，即超精密加工要求测量精度比加工精度高一个数量级工作环境超精密加工必须在超稳定的加工环境条件下进行，必须具备各种物理效应恒定的工作环境，如恒温室、净化间、防振和隔振地基等。

4超精密及纳米加工技术在以下领域有着广阔的应用前景：仪器仪表工业、航空航天工业、电子工业、国防工业、计算机制造、各种反射镜的加工、微型机械领域。当前，超精密及纳米加工技术的发展趋势主要表现在以下一些方面：向高精度方向发展，向加工精度的极限冲刺，由现阶段的亚微米级向纳米级进军，其最终目标是做到“移动原子”，实现原子级精度的加工。向大型化方向发展，研制各种大型超精密加工设备，以满足航天航空、电子通信等领域的需要。向微型化方向发展，以适应微型机械、集成电路的发展。向超精结构、多功能、光机电一体化、加工检测一体化方向发展，并广泛采用各种测量、控制技术实时补偿误差。不断出现许多新工艺和复合加工技术，被加工的材料范围不断扩大。在作业环境建造方面诸如高性能的基础隔振技术、净化技术与环境温控技术将有更大发展。

57.2精密、超精密加工工艺精密、超精密切削加工超精密切削加工主要指金刚石刀具超精密车削，主要用于加工软金属材料，如铜、铝等非铁金属及其合金，以及光学玻璃、大理石和碳素纤维板等非金属材料，主要加工对象是精度要求很高的镜面零件。最新进展表明，国外金刚石刀具刃口半径可达到纳米级水平，日本大阪大学和美国LLL实验室合作研究超精密切削的最小极限，使用极锋锐的刀具和机床条件最佳的情况下，可以实现切削厚度为纳米（nm）级的连续稳定切削。现在我国生产中使用的金刚石刀具，刀刃锋锐度约为0.2~0.5μm，特殊精心研磨可以达到0.1μm。在对加工表面质量有特殊要求时，特别是在要求残留应力和变质层很小时，需要进一步提高刀刃的锋锐度。

6精密、超精密磨削和磨料加工超精密磨削和磨料加工是利用细粒度的磨粒和微粉主要对黑色金属、硬脆材料等进行加工，可分为固结磨料和游离磨料两大类加工方式。固结磨料加工主要有：超精密砂轮磨削和超硬材料微粉砂轮磨削、超精密砂带磨削、ELID磨削、双端面精密磨削以及电泳磨削等。超精密砂轮磨削技术超精密磨削即是加工精度在0.1μm以下、表面粗糙度Ra0.025μm以下的砂轮磨削方法，此时因磨粒去除切屑极薄，将承受很高的压力，其切削刃表面受到高温和高压作用，因此，需要用人造金刚石、立方氮化硼（CBN）等超硬磨料砂轮

7经研究表明，超精密磨削实现极低的表面粗糙度，主要靠砂轮精细修正得到大量的、等高性很好的微刃，实现了微量切削作用，经过磨削一定时间之后，形成了大量的半钝化刃，起到了摩擦抛光作用，最后又经过光磨作用进一步进行了精细的摩擦抛光，从而获得了高质量表面。

8超精密砂带磨削技术随着砂带制作质量的迅速提高，砂带上砂粒的等高性和微刃性较好，并采