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第1页，共20页，星期日，2025年，2月5日2.傳導:電荷的轉移,示意圖如下:
?
AB
電量相等電荷轉移
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++++++++++++++++++++++++第2页，共20页，星期日，2025年，2月5日3.感應:帶有靜電的物體在電場的作用下使另一個物體也帶有靜電,示意圖如下:AB靜電感應只對導體和半導體才有作用.++++++++++++——++——++——++第3页，共20页，星期日，2025年，2月5日二.靜電電荷產生的種類:1.摩擦2.分離3.電場感應4.傳導第4页，共20页，星期日，2025年，2月5日三.靜電電荷對微電子工業的影響:1.微粒污染:在潔凈室裏,靜電是使直徑在0.1~1.0微米之間的顆粒沉積的主要原因.當芯片帶有靜電后就很容易沉積灰塵.2.ESD(ESD中文意思是靜電放電)失效:靜電放電時當放電電流過大,產生過高熱能,將會擊穿集成電路內部線路.3.三種擊穿現象:1.熱擊穿:P-N破壞2.介電擊穿:氧化層的破壞3.金屬汽化:金屬線被汽化而開路第5页，共20页，星期日，2025年，2月5日四.半導體的靜電敏感度:裝置型式靜電放電敏感度範圍(伏)裝置型式靜電放電敏感度範圍(伏)VMOS30~1800散粒(肖特基)二極管300~2500MOSFET100~200薄片電阻(厚,細)300~3000GaASFET100~300雙向晶體管380~7000EPROM100ECL(發射極偶合邏輯電路)500~1500JFET140~7000SCR(可控硅)680~1000SAW150~1500散粒(肖特基)晶體管1000~2500OP-AMP190~2500散粒晶體管邏輯電路1000~2500CMOS250~3000第6页，共20页，星期日，2025年，2月5日五.靜電放電的三種型式:1.人體型式:當人體活動時身體和衣服之間摩擦產生靜電,若不及時將靜電釋放給大地,而直接把靜電轉移給ESD敏感裝置而造成損壞.2.微電子器件帶電型式:在自動化生產過程中,一些塑料器件因摩擦產生靜電,通過ESD敏感裝置接觸,造成損壞.3.場感應型式:在有強電場圍繞時,能通過感應方法損壞ESD敏感裝置.第7页，共20页，星期日，2025年，2月5日六.靜電電荷的消除原理:1.接地:將導體材料接通大地,把靜電電荷傳導到大地.2.離子中和:用離子發生設備產生離子,來中和物體表面所帶靜電荷.3.屏蔽:用高導電性材料做成屏蔽層,使ESD敏感裝置不受外界靜電場損壞.第8页，共20页，星期日，2025年，2月5日七.???ESD等級分類：等級電壓範圍典型設備00~100VEPROM,VMOS,MOSFET,GAAS,FET,SAM1100~1000VSCR,JFET,薄膜電阻,二極管21000~4000VProtectedMOS,SCHOTTKY,TTL,OP-AMPandLSI34000~15000V大多其它半導體第9页，共20页，星期日，2025年，2月5日八.預防措施:
a.人员凡生产中可能接触到电子元器件或产品的人遇均需具备一定的静电防护措施.1、在线生产人员必须佩戴有线防静电手环方可作业,该有线防静电手环应与专用之接地线相连;2、非在线之作业员,设备操作员,现场之管理干部及周边单位(工程、品管、检测、企划等)技术员、工程师等需佩戴证明有效的无线式防静电手环；第10页，共20页，星期日，2025年，2月5日3、SMT现场之工作人
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