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年第期物理通报大学物理教学
２０２３４
影响基于等厚干涉原理测量膜厚精度的因素分析
王义全陈笑邹斌蔡园园黎仪艺李传波彭洪尚
（中央民族大学理学院北京１００８７１）
（收稿日期：）
２０２２０３２８
摘要：基于光学干涉原理的薄膜测量技术是重要的光电检测技术之一该测量方法可获得较高的测量精度
．．
但是在实际干涉测量中，膜厚测量的精度与所用光束的物理特性以及膜厚本身有较大关系基于薄膜干涉的基本原
．
理，分析了光束的发散角、薄膜厚度以及光束的入射角对基于薄膜干涉测长结果的影响，这对学生正确理解基于干
涉的测量原理，掌握正确的测量方法，提高测量精度具有一定的指导意义．
关键词：等厚干涉；等倾干涉；测量精度
众所周知，水泡以及许多昆虫（如蜻蜓、蝴蝶
１基于薄膜干涉原理的光程计算
等）的翅膀在阳光照射下会出现彩色条纹，这是由
于透明薄膜在光束照射下产生了薄膜干涉现象光图是折射率为的薄膜示意图，由光源发出
．１狀犛
学薄膜是一类重要的光学元件，广泛应用于现代光的两条夹角为光线、分别照射在薄膜表面
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学、光电子学和光学工程等诸多领域例如，低反射的点和点，由点折射进入薄膜的光线在下表
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．
膜常用于望远镜、显微镜和照相机等光学仪器上，大面处反射，从上表面处折射出薄膜，与点反射
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幅提升了该类光学仪器的透光性能再如，高反射膜的光线在点相遇而互相叠加形成干涉．
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．
常用于激光器谐振腔镜和各类干涉仪镜面上，这对
于降低激射阈值，改善激光输出质量具有重要
［］
意义１．
膜厚是表征薄膜特性的重要参数之一，其厚度
的测量一般是基于光的干涉原理薄膜干涉是扩
．
展光源照在薄膜上产生干涉的现象，主要包括等
倾干涉、劈尖干涉、牛顿环和迈克尔孙干涉等［２４］．
图１薄膜干涉的光路示意图
薄膜干涉理论的发展为其应用奠定了坚实的物理
两光线相交于点，对应的光程差为
初级会计持证人
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