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光伏行业废气处理技术方案与核心设备指南

一、光伏行业废气来源与污染物特性

光伏生产全流程（硅片制备、电池片加工、组件封装）均产生废气，污染物成分随工序差异显著，需针对性设计处理方案。

（一）核心生产环节废气解析

生产工序

主要污染物

浓度范围

危害特性

排放特点

硅片清洗/制绒

酸性气体（HF、HCl、HNO?）、硅粉颗粒物

HF50-200mg/m300-300mg/m3

强腐蚀性，损害呼吸道与设备；硅粉易引发粉尘爆炸

连续性排放，含湿量高（＞80%）

扩散工艺

氮氧化物（NOx）、氨气（NH?）

NOx80-250mg/m3?50-150mg/m3

NOx形成酸雨，NH?刺激黏膜，二者混合易生成铵盐颗粒物

间歇性排放，温度较高（80-120℃）

刻蚀工艺

酸性气体（HF、HCl）、氟化物

HF30-180mg/m3

腐蚀性强，氟化物可蓄积于骨骼

连续性排放，含微量有机物杂质

PECVD工艺

挥发性有机物（VOCs：异丙醇、硅烷）、氨气

VOCs100-300mg/m3NH?60-200mg/m3

硅烷易燃易爆，VOCs污染大气并形成臭氧

低流量、高浓度，含可燃成分

组件层压

非甲烷总烃（NMHC）、苯系物、EVA热解物

NMHC50-200mg/m3

刺激性气味，部分成分具毒性

间歇性排放，排放时段集中于层压过程

（二）污染物排放核心标准

需同时满足国家与地方双重标准，重点指标如下：

国家标准（GB30484-2013）：HCl≤10mg/m3，HF≤1mg/m3，NOx≤50mg/m3；

地方标准（如DB32/4041-2021）：NMHC≤50mg/m3（有组织），厂界NMHC≤2mg/m3（无组织）；

特殊要求：天合光能等企业技改项目VOCs年排放量需控制在2.284吨以内。

二、分场景废气处理技术方案

基于废气“成分-浓度-排放特性”差异，采用“分类收集+组合工艺”的治理路线，确保处理效率与经济性平衡。

（一）酸性废气处理方案（硅片清洗/刻蚀环节）

1.工艺路线：预处理+三级碱液喷淋吸收

预处理：采用布袋除尘器去除硅粉颗粒物，过滤风速控制＜1m/min，压损＜1000Pa，避免颗粒物堵塞喷淋塔填料；

核心处理：三级碱液喷淋塔串联，喷淋液采用5%-10%氢氧化钠溶液，pH值控制在9-10，液气比＞2L/m3，通过“雾化吸收-气液接触-除雾分离”三级反应，确保HF去除率≥98.5%、HCl去除率≥97%；

尾气处理：经除雾器（分离效率≥99%）去除水雾后，通过15m以上排气筒排放。

2.适用场景：高浓度酸性气体（HF＞100mg/m3）、含颗粒物废气，典型应用于硅片加工厂。

（二）氮氧化物与氨气处理方案（扩散环节）

1.工艺路线：选择性催化还原（SCR）+酸液吸收

脱硝处理：废气先经换热器升温至280-350℃，进入SCR催化模块，采用钒钛系催化剂，空速控制在2000-4000h?1，NOx去除率≥95%；

脱氨处理：脱硝后废气进入酸液喷淋塔（采用3%-5%硫酸溶液），NH?与硫酸反应生成硫酸铵（可回收作肥料），去除率≥99%；

节能设计：配套余热回收装置，利用脱硝后高温尾气预热进气，降低能耗30%。

2.适用场景：NOx与NH?混合废气，典型应用于电池片扩散工序。

（三）VOCs与可燃废气处理方案（PECVD/层压环节）

1.工艺路线1（中高浓度VOCs）：蓄热式催化燃烧（RCO）

预处理：活性炭过滤去除粉尘杂质，避免催化剂中毒；

核心处理：废气进入RCO装置，在贵金属催化剂（铂、钯）作用下，300-400℃下氧化分解为CO?和H?O，热回收效率≥95%，NMHC去除率≥99%；

安全控制：设置火焰探测器与氮气吹扫系统，防止硅烷等可燃气体爆炸。

2.工艺路线2（低浓度VOCs）：活性炭吸附+催化燃烧脱附

吸附阶段：采用蜂窝状活性炭吸附VOCs，饱和后切换至脱附模式；

脱附阶段：通过热空气（120-150℃）脱附，脱附气体进入催化燃烧装置处理，活性炭使用寿命延长至2-3年；

适用场景：NMHC＜100mg/m3的组件层压废气，处理每万立方米废气耗电约85kWh。

（四）多污染物混合废气处理方案（全工序集中处理）

1.工艺路线：分类收集+分质处理+末端协同

第一步：硅片清洗/刻蚀废气单独接入酸性气体处理系统，PECVD/层压废气接入VOCs处理系统；

第二步：扩散工序废气经SCR脱硝后，与酸性气体处理系统尾气汇合，进入综合喷淋塔去除残留NH?与酸性物质；

第三步：所有处理后尾气经在线监测系统检测合格后，通过统一排气筒排放。

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