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集成光波导MZI型气体传感器：原理、设计与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代社会，气体传感器作为检测气体成分和浓度的关键设备，在诸多领域中都发挥着重要作用。从工业生产过程中的气体监测，到环境空气质量的检测，再到生物医学领域的呼吸气体分析等，气体传感器的应用无处不在。在工业生产里，如石油化工、电力等行业，及时准确地检测有毒有害、易燃易爆气体，能够有效预防事故发生，保障生产安全；在环境监测方面，对大气中的污染物进行监测，有助于评估环境质量，为环保政策的制定提供依据；在生物医学领域，分析人体呼出气体中的成分，能够辅助疾病的早期诊断。

随着科技的飞速发展，传统气体传感器逐渐暴露出一些局