三自由度精密定位工作台工作空间分析及优化.pdfVIP

第31卷第5期兵工学报V01．31NO．5

2010年5月ACTAARMAMENTARIIMav2010

三自由度精密定位工作台工作空问分析及优化

贾晓辉，张大卫，田延岭

(天津大学机械工程学院，天津300072)

摘要：针对纳米压印光刻技术(NIL)过程中的纳米级空间定位要求，设计了一种采用柔性并联

构型和压电陶瓷驱动的三自由度精密定位工作台。基于伪刚体(PRB)模型理论将柔性铰链等效为

理想转动副和线性扭簧，建立了精密定位平台的PRB模型，并以此分析了该类工作台的逆运动学

特性；根据弹性铰链转角范围所限定的约束条件分析了定位工作台的工作空间。另外，为了达到以

预定的全局条件数为约束条件的最大工作空间体积，对工作台结构参数进行优化，并通过数值仿真

验证其有效性。

关键词：机械学；纳米压印光刻技术；精密定位工作台；工作空间分析；优化设计

中图分类号：TN305文献标志码：A文章编号：1000—1093(2010)05-0624—07

WorkspaceAnalysisandOptimizationofa3-DOF

PrecisionPositioningTable

JIAXiao—hui，ZHANGDa—wei，TIANYan—ling

(SchoolofMechanicalEngineering，TianjinUniversity，Tianjin300072，China)

Abstract：Inordertorealize3一dimensionalpositioningwithnanometerlevelinnanoimprintlithograph

(NIL)，apiezo—driventablewith3DOFflexibleparallelconfigurationwasdesigned．Basedonpseudo—

rigid—body(PRB)modelingtheory，boththeinversekinematicsandvelocitymodelswereestablishedby

simplifyingthesingle—axisflexiblehingesasidealrevolutejointsandtorsionsprings．Inviewofthephysi—

calconstraintsimposedbyflexiblehinges，theworkspaceofthetablewasinvestigated．Andforthepur—

posetoachieveamaximumworkspacesubjectedtothegivendexterityindices，itskinematicoptimization

wascarriedout．Thenumericalsimulationwasundertakentovalidatethework．

Keywords：mechanics；nanoimprintlithograph；precisionpositioningstage；workspaceanalysis；opti—

mizedesign

此过程中，对准技术是影响压印精度的关键之一。

O引言

为了达到高质量的对准精度，一套包括下压机构、

纳米压印光刻技术(NIL)是一种全新的纳米承片台、精密定位机构、紫外光源等的NIL系统是

图形复制方法，具有分辨率高、制作成本低、生产