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自动橱自动橱LDandULDsensor保养书
1.0异常现象概述：
LD/ULDsensor损坏
2.0所使用的工具：
内六角、斜口钳、剥线钳、电工胶带、无尘布、、防护用具（防酸袖套、围
裙）
3.0注意事项：
1.前注意配带防酸袖套及防酸围裙，使用护具，注意不要让酸和衣服有直接
接触；
2.注意自身及操作安全；
3.确认好机台内无工作片源；
4.0程序：
1.选取主画面工具列的LogIn项，把用户名切为EE用户，把自动模式切为手动；
2.选择主画面的Function项里的Parameter，选WPR—Motion—Setting:Door
InterlockBypass，关闭WPR和制程区维修门之互锁安全装置；
3.用内六角打开侧面的维修门；
4.穿戴好防酸围裙和袖套，换上乳胶手套；
5.用记号笔在sensor固定底座四个角做好记号（方便后面安装时省下位置校准）；
ƐĞŶƐŽƌ
AutomaticcleaningcabinetAutomaticcleaningcabinetLDandULDsensor
maintenancestandardbook
1.0Overviewofabnormal
phenomena:
LD/ULDsensordamaged
Toolsusedby2.0:
Hexagonsocket,diagonalpliers,wirestrippers,electricaltape,dust-freecloth,alcohol,protective
equipment(acid-proofsleeves,apron)
3.0Notes:
1.Beforemaintenance,pleasewearacid-proofsleevesandacid-proofapron,useprotectivegear,andbe
carefulnottoletacidcomeintodirectcontactwithclothes;
2.Payattentiontoyourown；
andoperationalsafety
3.Confirmthatthereisnoworking；
sourceinthemachine
4.0maintenance
procedures:
1.SelecttheLogInitemonthetoolbarofthemainscreen,changetheusernametoEEuser,andswitchthe
automaticmodetomanual;
2.SelectParameterintheFunctionitemofthemainscreen,selectWPR—Motion—Setting:DoorInterlock
Bypass,andclosetheinterlocksafetydeviceofWPRandthemaintenancedooroftheprocessarea;
3.Usetheinnerhexagontoopenthe
maintenancedoorontheside;
4.Putontheacid-proofapronandsleeves,andputonlatex
gloves;
5.Useamarkerpentomarkthefourcornersofthesensorfixedbase(tofacilita
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