表面粗糙度的测量方法.pptVIP

4．间接测量方法这类方法是利用被测表面的某种特性来间接评定表面粗糙度的数值。例如：气动法：是利用流经测量头与被测表面间气体流量的大小或其所引起的压力变化来评定表面粗糙度。电容法：是利用测量头与被测表面间形成的电容量大小来评定表面粗糙度。不能直接测出表面参数Ra或Rz，而需进行比对定标，且要配备一些和被测表面几何形状相适应的测量头。其他方法：激光散射法、激光散班法、激光全息法等。第29页，共59页，星期日，2025年，2月5日二、光切法测量表面粗糙度第30页，共59页，星期日，2025年，2月5日所谓光切法就是用一狭窄的扁平光束以一定的倾斜角照射到被测表面上，光束在被测表面上发生反射，将表面微观不平度用显微镜放大成象进行观测的方法。图4-5是光切法的测量原理图。若倾斜角取45°，则得：h’=h/cos45°若观测显微物镜的倍数V，则：N＝Ｖh’用显微镜测出象的大小N，即可求出h值：h=N/(Vcos45°)测量表面粗糙度峰谷距离的原理与上述相同。图4-5光切原理1．光切法原理：第31页，共59页，星期日，2025年，2月5日图4-6光切显微镜光路2．测量仪器原理及定度（1）原理光切显微镜的光路原理如图4-6所示。用测微目镜量出a、a’的距离Ｎ，即可求出峰谷间的高度。第32页，共59页，星期日，2025年，2月5日由于物镜分辨率及景深的限制，光切法测量范围一般为：Rz=(80～0.8)?m（旧国标?3～?9）。式h=N/(Vcos45°)中有无理数，计算、使用不便，在仪器设计时采用机械方法加以有理化，其方法如图4-7所示。此时：h=a/2V式中:a—用仪器测微目镜瞄准峰谷象高度N（图4-7中十字线位置I与II）时两次读数差值；h—表面粗糙度的某一峰谷高度；V—所选用物镜的放大倍数。双管显微镜第33页，共59页，星期日，2025年，2月5日双管显微镜视场图第34页，共59页，星期日，2025年，2月5日双管显微镜第35页，共59页，星期日，2025年，2月5日光切显微镜读数第36页，共59页，星期日，2025年，2月5日（2）定度：在光切显微镜上，把确定测微目镜的鼓轮上每小格所对应的被测峰谷高度值的过程叫作“定度”。(h=a/2V)定度首先是求物镜的放大倍率。求物镜放大倍率的方法是用一个标准刻线尺（通常为专用附件，刻度间隔为0.01mm，共101条刻线）来测定各个物镜的实际放大率。如图4-8所示，物镜放大率为：V=令C=5/V，则：h=cn(um)式中，n为测量峰谷高度时两次读数的差值（格数）。显然，上式使用简便。C值的物理意义就是测微鼓轮一小格所对应的峰谷方向的高度值。第37页，共59页，星期日，2025年，2月5日3．测量方法测量前，选择相应的物镜（表4-2）并已知定度值C。然后调节显微镜使视场呈现清晰的狭缝象及表面象，且至狭缝象的一个边缘最清晰为止。（1）测量Rz值其测量方法应符合定义。Rz值可按下式计算：Rz=1/2C （2）测量Ry值：Ry=1/2C第38页，共59页，星期日，2025年，2月5日三、干涉显微镜测量表面粗糙度干涉显微镜测量原理：联合运用干涉原理和显微放大原理。对测量面垂直高度方向的微观不平度通过光波干涉法进行放大测量，对表面粗糙度的水平参数通过显微放大系统测量。干涉显微镜测量范围：Rz=0.8?m～0.025?m。6JA干涉显微镜测量光路见图4-12。第39页，共59页，星期日，2025年，2月5日干涉显微镜第40页，共59页，星期日，2025年，2月5日第41页，共59页，星期日，2025年，2月5日1986年WYKO公司研制成功的TOPO非接触微表面测量系统。测量精度达自动完成测量。Mirau干涉仪的改进：R被固定在PZT上。第42页，共59页，星期日，2025年，2月5日第1页，共59页，星期日，2025年，2月5日

第一节表面粗糙度的评定参数主要内容：1、主要术语及定义取样长度L评定长度L