基于多层复合薄膜电极的高温声表面波谐振器的制备及研究.pdfVIP

摘要

传统的传感器在极端高温工业环境下易出现性能失效的情况，这些场景包括航天发动机

零件的健康监测系统、石油开采、化工生产行业、以及汽车和船舶的发动机和排放系统等。

高温声表面波（SurfaceAcousticWave,SAW）传感器专门为承受极端温度而设计，具备高度

的可靠性及耐用性，并且其无线无源、低功耗和体积小的优势使得它们适用于高温旋转、需

要考虑功耗或者空间有限的场景中。随着应用场景的不断增加，对在高温恶劣环境中稳定监

测的SAW器件提出了更高的要求。保持SAW器件高温稳定性主要面临的挑战是提高其叉指

换能器（InterDigitalTransducer,IDT）电极的耐高温能力。本文基于铂-铑（Pt-Rh）合金，设

计并制备了多种不同结构的多层复合薄膜电极，并对电极的最高工作温度和热稳定性进行了

进一步的研究。随后，将多层复合薄膜电极的结构应用到IDT中，成功制备出SAW器件，

并对其进行高温热处理测试。具体的工作内容总结如下：

(1)对多层复合薄膜电极中合金层、钉扎材料层和阻挡层进行材料选择和结构组合设计，

并完成电极的工艺制备及最高工作温度的测试。研究表明薄膜电极厚度的增加提升了电极的

稳定性，从而电极在高温下的团聚得到了有效地抑制。此外，研究还发现增加钉扎材料层的

数量也能够提升电极的耐高温性能，这是由于合金层中掺杂的钉扎材料能够增强薄膜电极晶

界结构的稳定性。在此基础上，制备并测试了多种不同保护层的电极结构。钝化保护层会减

少电极表面与空气的接触，并增加电极的团聚所需的能量，从而提升电极的最高工作温度。

值得注意的是，所设计的ZrO/Pt-Rh/AlO/Pt-Rh/AlO结构的电极在空气中的最高工作温

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度能够达到1600℃。

(2)在空气中进行多层复合薄膜电极的热稳定性测试。ZrO/Pt-Rh/AlO/Pt-Rh/AlO结

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构的电极分别在1200℃下经过5次1小时的热处理循环，在1400℃下经过2次1小时的热

处理循环，均表现出显著的稳定性。当实验温度升至1500℃时，电极至少能够稳定工作30分

钟。通过扫描电子显微镜（ScanningElectronMicroscope,SEM）对热处理后的电极形貌进行

观察，将电极的团聚过程概述为空洞的形成、空洞的生长和空洞与相邻空洞接触，形成隔绝

的颗粒这三个阶段。此外，为了抑制高温下金属的氧化反应，提出氮气实验环境的测试方案，

这使得ZrO/Pt-Rh/AlO/Pt-Rh/AlO结构的最高工作温度被提升至1650℃以上，并使其在

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1600℃下热处理1小时后仍保持良好的稳定性。PAD上大面积薄膜在高温下同样会发生明显

地团聚和降解。为了确保了在高温测试过程中器件与导线之间的粘合不会受到影响，对大面

积Pt-Rh/AlO/Pt-Rh/AlO结构的多层复合薄膜在高温下降解退化行为进行观察。在空气和

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氮气环境下，大面积Pt-Rh复合薄膜即使在1600℃下保温1小时后，仍能够保证完整性和导

电性。

(3)将AlO/Pt-Rh/AlO/Pt-Rh/AlO结构应用到SAW器件的IDT电极中，并利用

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COMSOL软件完成仿真分析。基于AlN压电基底，设计并制备出高性能的单端口谐振型SAW

器件。进一步，对SAW器件进行耐高温测试。实验结果表明，SAW器件分别在空气中1200℃

下保温1小时、氮气环境中1400℃下保温1小时后，均表现出良好的稳定性。

关键词：复合薄膜电极，超高温SAW，SAW谐振器，AlN压电材料，Pt-Rh合金

ABSTRACT

Traditionalsensorsareproneto