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电子真空镀膜工现场作业操作规程

文件名称：电子真空镀膜工现场作业操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于电子真空镀膜工现场作业，旨在确保操作人员安全、高效地完成镀膜任务。规程要求操作人员严格遵守国家相关法律法规，熟悉设备性能和操作流程，掌握安全防护知识，确保生产安全和环境保护。

二、操作前的准备

1.安全防护措施

操作人员进入作业区域前，必须穿戴符合规定的个人防护装备，包括但不限于防静电服、防护眼镜、防尘口罩、耳塞、手套等。长发需束起，避免进入工作区域时接触到高温或腐蚀性物质。

2.设备状态确认

a.检查设备外观是否完好，无损坏、腐蚀、裂纹等现象。

b.检查设备电源线、控制线、连接器等电气部件是否牢固，无破损。

c.检查真空系统是否正常，确保真空度达到设备要求。

d.检查镀膜源、蒸发源、加热器等关键部件是否工作正常。

e.检查气体供应系统是否稳定，气体流量是否符合工艺要求。

3.环境检查

a.检查工作区域通风是否良好，确保有害气体排放符合国家标准。

b.检查工作区域照明是否充足，地面无油污、水迹等滑腻物质。

c.检查紧急停机按钮、灭火器等安全设施是否在位且有效。

d.检查设备周围是否有易燃易爆物品，确保作业环境安全。

4.物料准备

a.检查镀膜材料是否符合要求，无污染、无破损。

b.检查辅助材料（如靶材、衬底等）是否充足，质量符合规定。

c.检查镀膜液、清洗液等化学试剂的储存是否符合安全规范。

5.工艺参数核对

a.核对工艺参数是否符合生产要求，如温度、压力、时间等。

b.核对工艺流程图，确保操作顺序正确。

6.人员培训

a.确认操作人员已接受过必要的培训，了解设备操作规程和安全注意事项。

b.确认操作人员熟悉紧急情况下的应急处理流程。

7.记录填写

a.记录操作前的设备状态、环境条件、物料情况等。

b.填写操作前的安全检查记录，确保所有准备工作均已完成。

三、操作的先后顺序、方式

1.操作顺序

a.启动设备前，先进行设备预热，确保设备温度稳定。

b.检查真空度是否达到工艺要求，如未达到，则调整真空泵或检查系统泄漏。

c.加载镀膜材料，确保材料放置正确，无遗漏。

d.打开气体供应系统，调整气体流量至工艺设定值。

e.开启蒸发源和加热器，逐步升温至工艺温度。

f.启动旋转台，确保衬底均匀旋转。

g.按照工艺流程开始镀膜，监控镀膜过程，包括真空度、温度、气体流量等参数。

h.镀膜完成后，关闭蒸发源和加热器，逐步降温至室温。

i.关闭气体供应系统，释放真空度。

j.停止旋转台，取出镀膜后的衬底。

k.清理工作区域，收集废料，填写操作记录。

2.作业方式

a.操作过程中应保持专注，密切观察设备运行状态和工艺参数。

b.操作时避免直接接触高温设备或腐蚀性物质。

c.使用设备时应遵循设备操作手册的指导，不得随意更改参数。

d.在进行任何可能影响设备安全运行的调整时，应先关闭设备并确认安全。

3.异常处置

a.若出现设备故障，应立即停止操作，切断电源，并通知维修人员。

b.若发现真空度异常，应检查真空系统，必要时进行维修或更换部件。

c.若温度控制异常，应调整加热器或检查温度传感器的准确性。

d.若气体供应异常，应检查气体管道和阀门，确保气体供应稳定。

e.若出现火灾或泄漏等紧急情况，应立即启动应急预案，并迅速撤离现场。

f.所有异常情况应详细记录，以便后续分析和改进。

4.结束操作

a.操作结束后，确保所有设备处于安全状态。

b.清理工作区域，回收废料，整理工具和材料。

c.填写操作报告，记录操作过程中的关键数据和异常情况。

四、操作过程中设备的状态

1.正常状态指标

a.真空度：设备在运行过程中，真空度应稳定在工艺要求的范围内，通常为10-10^-4Pa。

b.温度：加热器温度应稳定在设定的工艺温度，且波动范围不超过±5℃。

c.气体流量：气体供应系统应保持恒定的流量，流量误差应在±5%以内。

d.旋转速度：旋转台的旋转速度应与工艺要求一致，无异常振动。

e.电流电压：蒸发源和加热器的电流电压应在正常工作范围内，且稳定无波动。

f.电气系统：设备电气系统应无漏电现象，电压和电流指示正常。

2.异常现象识别

a.真空度突然下降或无法达到设定值，可能存在泄漏或真空泵故障。

b.加热器温度异常升高或无法达到设定值，可能是加热器故障或控制系统故障。

c.气体流量波动过大，可能是气体供应系统不稳定或阀门故障。

d.旋转台出现异常振动或转速不均，可能是轴承损