“十五五”重点项目-碳化硅单晶装备项目节能评估报告(节能专).docx

研究报告

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“十五五”重点项目-碳化硅单晶装备项目节能评估报告(节能专)

一、项目概述

1.项目背景及意义

(1)随着全球能源危机的加剧和环境保护意识的不断提高，发展低碳经济、推动绿色低碳技术已成为我国的重要战略。碳化硅单晶作为新一代半导体材料，具有高热导率、高硬度、高抗热震性等优异特性，在新能源汽车、风电、光伏等高增长领域有着广阔的应用前景。因此，碳化硅单晶产业的发展对我国推动产业结构升级、保障能源安全具有重要意义。

(2)然而，碳化硅单晶的制备过程能耗较高，传统工艺的能耗约为硅单晶的10倍以上，严重制约了产业的可持续发展。为了降低生产成本，提高产业竞争