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（正式版）T∕CASAS 53-2025 《氮化铝抛光片位错密度的测试　腐蚀坑法》.docxVIP

（正式版）T∕CASAS 53-2025 《氮化铝抛光片位错密度的测试　腐蚀坑法》.docx

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    29.045H83

    CASA

    第三代半导体产业技术创新战略联盟Chinaadvancedsemiconductorindustryinnovationalliance

    团体标准

    T/CASAS053—2025

    氮化铝抛光片位错密度的测试腐蚀坑法

    TestmethodfordislocationdensityofpolishedAINwafer—Etchingpitmethod

    2025-05-20实施2025-05-20发

    2025-0

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