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HotWorkingTechnology2021，Vol.50,No.14
电子束选区熔化加工过程实时检测方法研究
王家明1A3,殷伯华w，孙博彤5王鹏飞w，刘俊标w，韩立w
(1.中国科学院电工研究所，北京100190;2.中国科学院大学，北京100049;3.生物电磁学北京市重点实验室，北京
100190)
摘要：针对电子束选区熔化加工过程和加工工艺缺少有效的实时在线检测和评估方法的问题，提出了一种通过逐
层扫描，实时进行二次电子成像，进而根据所得点阵图像解决上述问题的方法。分析了试验方案及基本流程，包括扫描成
像控制原理、图像采集以及采样信号处理等，并通过实验验证实时检测方法准确性和可靠性，以及控制系统选择检测区
域的能力。此检测方法不仅能有效检测样品表面粗糙程度和微小缺陷，还可为后续改善EBSM工艺参数提供依据。
关键词：电子束选区熔化；实时监测；二次电子
DOI:10.14158/j.cnki.1001-3814.
中图分类号：TG441.7文献标识码：A文章编号：1001-3814(2021)14-0054-05
StudyonReal-timeDetectionMethodofElectronBeamSelectiveMeltingProcess
WANGJiaming1*2*3，YINBohua1*23，SUNBotong1^3，WANGPengfei1*23，LIUJunbiao1*23，HANLi1*23
(1.InstituteofElectricalEngineering,ChineseAcademyofSciences,Beijing100190,China;2.UniversityofChinese
AcademyofSciences,Beijing100049,China;3.BeijingKeyLaboratoryofBioelectromagnetism,Beijing100190,China)
AbstractAiming：attheproblemsoflackofeffective,real-timeandon-linemonitoringandevaluationmethodfor
electronbeamselectivemelting(EBSM)processingandprocessingcraft,amethodofacquiringreal-timesecondaryelectron
imagingthroughlayer-by-layerscanningwasproposed,theaboveproblemsweresolvedaccordingtothedotmatriximage.
Thetestingschemesandthebasicprocedurewereanalyzed,includingtheprincipleofscanningformingcontrol,image
captureandsamplingsignalprocessing.Theaccuracyandreliabilityofthereal-timemonitoringmethodandtheabilityofthe
controlsystemtoselectthetesting
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