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探秘KrF准分子激光下光学薄膜的损伤密码：特性、机制与应对策略

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的进程中，激光技术凭借其独特的优势，如高能量密度、高方向性和高单色性，在众多领域得到了广泛且深入的应用，已然成为推动科学研究与工业发展的关键力量。其中，KrF准分子激光作为一种重要的紫外激光光源，以其248nm的特定波长、短脉冲宽度以及高光子能量等显著特点，在科研与工业等领域发挥着不可或缺的作用。

在科研领域，KrF准分子激光为众多前沿研究提供了关键支撑。在光刻技术中，随着集成电路不断向更小尺寸和更高性能发展，对光刻精度提出了极为严苛的要求。KrF准分子激光由于其短波长