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半导体辅料制备工职业健康、安全、环保操作规程

文件名称：半导体辅料制备工职业健康、安全、环保操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于半导体辅料制备工在从事半导体辅料生产过程中的职业健康、安全及环保操作。规程旨在确保操作人员的人身安全，预防事故发生，保护环境，保障产品质量。要求所有操作人员严格遵守规程，提高安全意识，确保生产过程安全、环保、高效。

二、操作前的准备

1.个人防护：

操作人员进入生产区域前，必须穿戴符合国家安全标准的防护服、防护手套、防护眼镜和防尘口罩。对于可能接触有害化学品的操作，还需佩戴防护帽和防毒面具。女性操作人员不得佩戴饰物，以防意外伤害。

2.设备检查：

在开始操作前，应对所有使用的设备进行以下检查：

-确认设备是否处于正常工作状态，包括电机、泵、阀门等；

-检查设备是否有泄漏、损坏或异常噪音；

-确认所有安全防护装置是否完好，如紧急停止按钮、防护罩等；

-对于自动控制设备，应检查程序是否正确，系统是否稳定。

3.环境检查：

-检查生产区域是否有易燃易爆物质，如氧气浓度是否在安全范围内；

-确认通风系统是否正常运行，确保空气流通，降低有害气体浓度；

-检查地面是否平整，无积水或油污，以防滑倒；

-检查消防设施是否完好，包括灭火器、消防栓等。

4.物料准备：

-根据生产配方准备所需的原材料和辅料，确保数量和品质符合要求；

-对原材料进行必要的称量和检验，确保准确无误；

-将物料存放在指定的存储区域，避免交叉污染。

5.操作规程学习：

-操作人员必须熟悉并理解所操作设备的操作规程；

-在操作前，对操作规程进行复习，确保理解每一步骤的安全注意事项。

6.通知和培训：

-在操作前，向所有相关人员通知当天的操作计划和潜在风险；

-对于新操作人员或新设备，进行必要的培训和考核，确保其具备操作能力。

7.文件记录：

-在操作前，确保所有相关的操作记录文件、安全检查记录和培训记录均齐全且更新至最新。

三、操作的先后顺序、方式

1.操作顺序：

-首先进行个人防护装备的穿戴，确保所有防护措施到位；

-接着进行设备启动前的检查，包括设备状态、安全装置和紧急停止按钮；

-然后启动通风系统，确保工作区域空气流通；

-按照操作规程开始物料准备，包括称量、检验和存储；

-进行设备预热，确保设备在正常温度下工作；

-按照预定的操作步骤开始生产过程，包括投料、混合、反应等；

-在生产过程中，定期检查设备运行状态和产品质量；

-生产结束后，进行设备清洗和消毒，防止交叉污染；

-关闭所有设备，断开电源，释放压力；

-清理工作区域，收集废弃物，并进行分类处理。

2.作业方式：

-操作人员应按照操作规程进行作业，不得擅自更改；

-在操作过程中，应保持专注，不得分心；

-对于需要精确控制的操作，应使用精确的计量工具；

-在进行可能产生有害气体的操作时，应使用局部排风设备；

-在进行高温或高压操作时，应穿戴相应的防护装备。

3.异常处置：

-发生设备故障时，应立即停止操作，并报告上级；

-对于泄漏或溢出的化学品，应立即采取措施隔离，并通知相关部门；

-在发生火灾或爆炸等紧急情况时，应立即启动应急预案，并按照预案要求进行处置；

-在操作过程中，如发现任何安全隐患，应立即停止操作，并报告安全管理部门；

-对于任何异常情况，操作人员应遵循“先隔离、后处理、再报告”的原则。

4.质量控制：

-在生产过程中，应定期进行产品质量检查，确保产品符合标准；

-对于不合格的产品，应立即隔离，并查明原因，采取措施纠正；

-所有产品质量检查记录应完整保存，以备查验。

5.结束工作：

-操作结束后，应进行设备维护和清洁；

-对操作区域进行清理，确保无残留物料；

-对操作过程进行总结，记录操作中遇到的问题和改进措施；

-关闭所有生产设备，确保安全后离开工作区域。

四、操作过程中设备的状态

1.正常状态指标：

-设备运行平稳，无异常震动和噪音；

-设备温度在正常工作范围内，无过热现象；

-流量、压力、温度等参数在设定值范围内波动；

-电机运行平稳，无异常电流和电压；

-传感器和控制系统显示正常，无错误报警；

-设备外观无损伤，无泄漏现象；

-通风系统运行正常，无异味或有害气体泄漏。

2.异常现象识别：

-设备运行过程中出现剧烈震动、噪音或异常响动；

-设备温度异常升高，超出安全工作范围；

-流量、压力、温度等参数超出设定范围，且无正常波动；

-电机运行不稳定，出现异常电流或电压；