薄膜的蒸发沉积原理与技术.pptVIP

4膜层厚度控制与均匀性4.3改善膜层厚度的均匀性DINGQUANLIUSITP-CAS(4)避免定向蒸发温升华的块状料，与蒸发舟接触的部分出现升华，蒸发气流沿空隙射出，分布不均匀。应尽量使膜料块体不要太大，均匀分布。第30页，共42页，星期日，2025年，2月5日第1页，共42页，星期日，2025年，2月5日主要内容1.关于薄膜的一些基本概念2.材料在真空中的热蒸发薄膜在真空中的沉积生长膜层厚度控制与均匀性热蒸发薄膜的一些应用SITP-CASDINGQUANLIU第2页，共42页，星期日，2025年，2月5日1关于薄膜的一些基本概念不同的用途有不同的概念:(1)光学的人讲,能够产生干涉的薄层;(2)电子学认为,厚度不能超过1μm;(3)物理学认为,是2维结构的材料;(4)生物学认为,细胞等组织的保护层;(5)农业生产中,甚至厚度到100μm以上的塑料纸也称薄膜;------1.1什么是薄膜?SITP-CASDINGQUANLIU第3页，共42页，星期日，2025年，2月5日1关于薄膜的一些基本概念(1)空气态的薄膜,入牛顿环;(2)液体态的薄膜;(3)固体态的薄膜,是2维结构的材料;------我们经常使用和概念中的薄膜,就是固体态的薄膜,而且指由无机材料组成、厚度在微米量级以下的两维结构，薄膜应该具有连续的形态。1.2薄膜的一些基本形态SITP-CASDINGQUANLIU第4页，共42页，星期日，2025年，2月5日1关于薄膜的一些基本概念(1)薄膜以非晶态结构居多;(2)有的薄膜以多晶态形式出现，含有非晶成分;(3)单晶体的薄膜难以得到，通常需要很高的沉积温度、好的真空度、严格的材料选择;如果单从薄膜的使用强度考虑，非晶态薄膜可能更好。1.3薄膜的晶体结构SITP-CASDINGQUANLIU第5页，共42页，星期日，2025年，2月5日1关于薄膜的一些基本概念(1)薄膜的聚集密度：指膜层中材料体积占有总体积的比值，常以小于1的两位小数表示。越接近于1，膜层越致密，质量越好；有的膜层甚至低于0.50。(2)薄膜的MDT模型图：1.4薄膜的聚集情况SITP-CASDINGQUANLIU第6页，共42页，星期日，2025年，2月5日1关于薄膜的一些基本概念(3)真空度的影响：残余气体分子与沉积粒子(原子、分子、团粒等)碰撞，影响沉积动能和方向，易形成松散结构。真空度对蒸发镀金属膜层微结构的影响：1.4薄膜的聚集情况SITP-CASDINGQUANLIU第7页，共42页，星期日，2025年，2月5日1关于薄膜的一些基本概念(1)薄膜中的压应力：膜层中聚集密度较大时，膜层中“柱状结构”相互排斥，它们受到挤压的作用。(2)薄膜中的张应力：膜层中聚集密度较小时，膜层中“柱状结构”相互吸引，它们受到拉伸的作用。1.5薄膜的应力SITP-CASDINGQUANLIU第8页，共42页，星期日，2025年，2月5日1关于薄膜的一些基本概念(1)牢固度用附着力来表述：基片与膜层之间存在相互作用的附着能，附着能对两者之间的距离微分，微分最大值就是附着力。(2)薄膜牢固度的增加：洁净的基片；膜层与基片良好的接触；较高的沉积温度增加扩散；高