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氮化炉氨气纯度保养技术专题

汇报人：***(职务/职称)

日期：2025年**月**日;

·氮化炉基本原理与结构

·氨气纯度对工艺影响

·供气系统保养规范

·纯度监测技术应用

·常见纯度问题诊断

·保养周期计划制定

·安全操作规程;

·设备升级改造方案

·耗材管理标准

·工艺参数优化

·操作人员培训体系

·质量管理体系

·节能减排措施

·行业前沿技术;

01

氮化炉基本原理与结构;

02温度控制关键性

氮化反应通常在480-580℃范围内进行，温度过高可能导致氮化物层疏松,过低则影响渗氮效率，需精确调控炉内温度分布。;

采用双层水冷炉壳和真空密封技术，确保氨气无泄漏，同时防止空气渗入影响

氮化反应稳定性。

气体分配装置

多孔喷管设计使氨气均匀分布至工件表面，避免局部氮浓度不均导致的硬度波

动(±50HV以内为合格标准)。

尾气处理单元

配备催化燃烧装置，将未反应的氨气和氢气转化为无害氮气和水蒸气，符合环保排放标准(氨残留量50ppm)。;

流量精确控制

采用质量流量计(MFC)调节氨气输

入，典型流量范围为0.5-3m3/h,误

差控制在±2%以内以保证工艺重复性

应急安全措施

设置氨气浓度超标报警(≥100ppm

自动切断气源)和防爆泄压阀，确保

系统在异常压力下快速泄放。;

02

氨气纯度对工艺影响;

氮原子活性控制

高纯度氨气(w(水分)0.2%)能确保稳定的分解率(20%-40%),此时活性氮原子浓度最高，可形成均匀致密的渗氮层，显著提升表面硬度和耐磨性。;

氧气引发氮耗

氧杂质会与氮原子结合形成氮氧

化物，不仅降低有效氮浓度，还

会在工件表面产生多孔结构，严

重影响疲劳强度。;

纯度检测标准体系

工业级氨气标准

GB/T536-2017规定一级液氨纯度≥99.9%,水分≤0.1%,油含量

≤5mg/kg,适用于精密渗氮工艺。

在线监测技术

采用红外光谱法实时检测氨气中H?O、O?含量，配合电化学传感器监控NH?分解率(需保持15%-35%最佳区间)。

预处理规范要求

通过硅胶/氯化钙干燥塔、分子筛吸附器等三级净化系统，确保入炉氨气

露点≤-40℃,油雾浓度≤1ppm。;

03

供气系统保养规???;

氨气检测仪辅助

使用便携式氨气检测仪沿管道走向扫

描，重点检测阀门、接头等易泄漏部位，确保氨气浓度低于安全阈值(通常≤5ppm)。;

年度大修

每年对减压阀进行全面

性能测试，包括流量特

性曲线、密封性及响应时间，必要时更换关键

部件(如膜片、导向套

)。;

定期更换;

04

纯度监测技术应用;

激光气体分析仪

采用TDLAS技术，实现ppm级氨气纯度实时监测，抗干扰能力强，适用于高温高压环境。;

气相色谱分析流程

采样预处理系统

包含三级过滤(5μm→1μm→0.1μm)和恒温伴热管线(维持120±2℃) ,防止气体冷凝造成组分失真

检测器配置

TCD检测器(桥电流150mA)用于主要组分定量，FID检测器辅助识别有机

杂质;

阈值联动控制

当H?浓度偏离设定值±5%时自动调节氨气流量阀，同

步触发声光报警

趋势分析算法

基于移动平均模型(7点平滑)识别缓慢漂移故障，提

前12小时预警催化剂失效

冗余校验系统

平行部署激光气体分析仪(TDLAS)与色谱数据交叉验证，差异2%时启动人工复核;

05

常见纯度问题诊断;

气源压力不稳定

氮化炉氨气纯度波动可能源于气源压力不稳定，需检查气源供应

系统是否存在压力调节器故障或管道堵塞问题。

设备内部污染

炉内残留物或杂质可能导致纯度波动，需定期清理炉膛和管道，确保内部环境清洁。

阀门密封不良

阀门密封圈老化或损坏会导致气体泄漏，进而影响纯度，需定期检查并更换密封部件。

传感器校准偏差

纯度监测传感器若未定期校准，可能导致读数不准确，需按照厂

家建议进行校准和维护。;

设备泄漏检测方法

肥皂水检测法

在管道和阀门连接处涂抹肥皂水，观察是否有气泡产生，以快速定位微小泄漏点。;

气源污染应急处理

启动备用气源

切换至备用气源或临时使用高纯度氮气替代，确保生产流程不受影响

立即切断气源

发现气源污染时，应第一时间关闭

气源阀门，防止污染物进一步扩散

到氮化炉系统。;

06

保养周期计划制定;

压力与流量校准

检查减压阀出口压力(标准0.2-0.4MPa)和流量计示数

,确保与工艺参数匹配，防止因压力不稳导致渗氮层不均匀。;

月度保养重点内容

过滤器更换

清洗或更换氨气预过滤器和精

密过滤器滤芯，防止杂质进入反应室污染工件表面。;

核心部件深度维护

·分解炉催化剂更换：拆解分解炉检查催化剂载体结块