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铜缓蚀剂的研究进展文献综述
目前,研究和开发的铜的有效缓蚀剂一般是含有N、S以及苯环等有机杂环化合物,比如巯基苯并噻唑[11]、苯并三氮唑以及衍生物[12-13]、噻二唑衍生物[14]等都已经被进行了深入而广泛的研究。本章根据论文研究内容,对含氮类铜缓蚀剂进行了总结。
1.1苯并三唑类缓蚀剂研究进展
苯并三唑(BTA)是一种含有三个氮原子的五元芳香族杂环型化合物,BTA及其衍生物被发现是一种有效的铜的缓蚀剂。BTA类缓蚀剂通过分子中的氮原子上的孤对电子以配位键的形式跟铜原子相连,交替形成链状的聚合物。因此,BTA类
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