水基冰刻电子束曝光微纳加工技术及应用.pdfVIP

感谢同级的伙伴卢锦胜、朱桓正、罗皓、徐梓铨、裴学璐、陈咨尧、刘楚明。

以你们为师我学到了很多，与优秀的你们为伍是我的荣幸。祝你们都有光明的前

途。

感谢冰刻组的伙伴姚光南、吴珊、郑睿。感谢你们在这个充满挑战的课题中

与我同行，祝你们成功。

感谢同窗伙伴们。感谢马彬泽和黄沄在微纳加工上的帮助。感谢郑纯琪、王

晗、赵文婷、周焕、杨晓博、俞剑波、查为懿、邢英鑫、钟珏晨、章煜、丁建平、

欧阳奥、朱屹凝、周天泽、朱泽浩、应云斌、王文娟、秦并、尚兴港、张磊、吕

未、唐妮、贾倩楠、祖希娴、方啸国、许犁野、卢奕含、陈博取、齐利民等同窗。

感谢你们带来的欢乐。

感谢浙江大学现代光学仪器国家重点实验室陈莉英老师、西湖大学刘霄助理、

蔡司（中国）公司工程师对我在实验设备上的保障支持。感谢浙江大学范晓慧助

理、西湖大学王朝阳助理、孔曼夕助理对我在课题组日常事务上的帮助。

感谢父母对我的养育之恩和多年来无私支持，祝你们健康快乐。

感谢女友王雅宁多年来的陪伴与支持，祝你早日博士毕业。

最后，感谢自己的坚持，愿你历尽千帆，归来仍是少年。

洪宇

二零二一年四月于求是园

摘要

微纳加工技术的发展极大提升了人类认识与改造微观世界的能力。作为最常

用的微纳加工方法之一，电子束曝光技术凭借其高分辨率和相对灵活性在纳米光

学、微电子学、微机械系统等领域具有广泛应用。不过，传统的电子束曝光工艺

流程繁复，适用范围有限，在面对日新月异的纳米技术发展与器件加工要求时显

得力不从心。为此，一系列新兴的微纳加工技术应运而生，其中就包括以纳米冰

层替代光刻胶来进行电子束曝光的冰刻。冰刻在工艺流程简化、原位加工、非平

面和易碎衬底加工等方面具有独特优势。然而，作为一种新兴的技术，目前对冰

刻技术的研究还存在很多局限。比如，冰刻仪器系统的设计还有待完善，对冰刻

中工艺现象与问题的认识还不充分，对冰刻工艺的挖掘和与其它微纳加工技术的

结合还不够深入，以及冰刻在微纳器件加工中的应用还不够丰富等。因此，本文

从冰刻仪器系统的设计与搭建出发，将电子束曝光原理、各类微纳加工技术思想

和冰刻技术特点相结合，在冰刻的三维微纳加工、无溶剂微纳加工、相关工艺问

题和微纳光学器件应用等方面进行了系统性研究。

在冰刻仪器系统方面，本文介绍了冰刻仪器系统的设计原理、实施方案、操

作方法和参数表现。通过将商用扫描电镜与热蒸发镀膜设备和外接组件连接，构

成了运行稳定、操作便利的冰刻仪器系统。进一步利用该系统实现了冰刻基本工

艺流程，在冰层上曝光了宽20nm，深宽比高达17:1的密集线条阵列，并实现了

平均宽度27nm的银纳米线加工。本文还定量分析了曝光剂量和加工粗糙度等指

标，对冰刻中常见的冰层异常和曝光图案失真等工艺问题进行了分析和解决。

在冰刻的三维微纳加工方面，本文提出冰刻基于多层套刻和灰度曝光两种策

略来实现三维微纳加工的方案。在多层套刻方案中，本文基于冰刻误差小于100

nm的原位对准能力和冰层的物理特性实现了金字塔形三维微纳结构的加工，与

传统电子束曝光相比大幅简化了工艺流程。在灰度曝光方案中，本文首次测定了

水冰的曝光对比度曲线，测得了冰层在5kV和20kV加速电压下的对比度分别

低达1.74和2.24，并通过调制曝光剂量分布形成三维冰层图案，实现了蘑菇形

三维结构和桥形悬空结构的加工。本文还对冰刻在三维微纳加工中的相关工艺问

题进行了分析和解决。

在冰刻的无溶剂微纳加工方面，本文提出通过吹离取代传统方法中的溶剂剥

离法，实现了全过程中无溶剂的冰刻加工，进一步简化了冰刻工艺流程。在光学

器件应用方面，该方法用于钙钛矿基光学器件的加工，有效避免了传统加工方法

中极性溶剂对钙钛矿材料的破坏，得到了目前具有最小金属电极间距（227nm）

的钙钛矿横向光电导探测器，响应率达76A/W；用于光纤端面和微纳光纤侧面

的微纳结构加工，得到了集成超表面的环境折射率传感光纤，灵敏度达187.4

nm/RIU。本文还对无溶剂冰刻中的相关工艺问题进行了分析，提出了合理设计曝

光图案和冰层厚度以加工准三维结构的方法。

本论文通过对冰刻微纳加工技术的系统性研究