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微电子技术论文s10854-016-5257-z.pdfVIP

微电子技术论文s10854-016-5257-z.pdf

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    JMaterSci:MaterElectron(2016)27:11331–11338

    DOI10.1007/s10854-016-5257-z

    Synthesisandgassensingpropertiesofpalladium-dopedindium

    oxidemicrostructuresforenhancedhydrogendetection

    LinChen1,3•XiaoyanHe2•YanfeiLiang2•YongjiaoSun2•ZhengtingZhao2•

    JieHu2

    Received:26April2016/Accepted:27June2016/Publishedonline:12July2016

    SpringerScience+BusinessMediaNewYork2016

    AbstractInthispaper,thepureInOandPd-dopedInO1Introduction

    2323

    (0.5,1.0,2.0and4.0mol%)flower-likespherical

    microstructureshavebeensynthesizedbyahydrothermalHydrogengas(H),asanenvironmentfriendlyandclean

    2

    method.Thecrystalstructureandsurfacemorphologyofenergyresource,hasbeenwidelyusedinavarietyoffields,

    as-preparedsampleswerecharacterizedbyX-raydiffrac-includingmanufacturing,chemicalprocesses,transporta-

    tionandscanningelectronmicroscopy.Thegassensingtion,energystorageandhouseholdapplications[1–5].

    experimentswerecarriedoutonalltheas-preparedgasHowever,hydrogenbelongstothegroupofflammableand

    sensorstohydrogengas,andthemeasuredresultshighlyexplosivegases,andsafetyisaspecialmatterof

    demonstratedthatthePd-dopedIn2O3gassensorsexhibitconsiderableconcernduringhandlingandusage,especially

    enhancedgassensingperformanceundertheoptimalatelevatedtemperatures.Furthermore,hydrogengasisan

    workingtemperatureof210C.Especially,the1.0mol%odorless,colorlessand

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