表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量.pdfVIP

GBTxxxx-xxxxISOTR15969-2021（GBT29557-2013修订）

《表面化学分析深度剖析溅射深度测量》征求意见稿

标准编制说明​

一、工作任务来源和主要工作过程​

本标准的工作任务来源于国家标委会下达的项目计T-491]。为了满足关于

深度剖析中溅射深度的测量的国家标准可以用于确定溅射深度剖析时的深度标尺，提高使用

不同仪器得到的深度剖析数据的可比性，提高深度剖析在工业应用中的可靠性和使用，相关

部门下达了本标准的编制任务。​

在接到任务后，我们迅速组建了标准编制小组，成员涵盖了包括中山大学、中国科学院

大连化学物理研究所等。首先，编制小组开展了广泛的调研工作，收集了大量国内外相关的

技术资料、行业数据以及实际生产中的问题与需求。通过对这些资料的分析和研究，初步确

定了标准修订的大致框架和主要内容方向。​

随后，进入了标准草案的编制阶段。编制小组依据调研结果，结合相关的技术原理和实

践经验，反复研讨、修改，形成了标准草案初稿。之后，将初稿在行业内进行了初步征求意

见，邀请了部分企业、科研机构和专家对初稿提出修改建议。根据反馈意见，编制小组对初

稿进行了认真的修改和完善，形成了标准征求意见稿。​

二、标准编制原则和主要内容的确定依据​

本标准的编制遵循了以下原则：​

科学性原则：以科学的理论和实践经验为基础，确保标准内容的准确性和合理性，能够客观

反映该领域的技术水平和发展规律。​

实用性原则：充分考虑行业的实际生产情况和应用需求，使标准具有较强的可操作性和

实用性，能够切实指导生产实践。​

先进性原则：借鉴国内外先进的技术和标准经验，结合行业的技术发展趋势，使标准具

有一定的前瞻性和先进性，推动行业技术进步。​

协调性原则：注重与相关的法律法规、标准相协调，避免出现冲突和矛盾，形成完善的

标准体系。​

主要内容的确定依据主要包括：​

行业内的实际生产数据和实践经验，确保标准内容符合生产实际。​

相关的科研成果和技术文献，为标准内容提供科学依据。​

国内外相关的标准和规范，借鉴其先进成果，使标准与国际接轨。​

行业发展的需求和趋势，确保标准能够适应行业未来的发展。​

三、主要试验验证的分析​

为了确保标准的科学性和合理性，我们进行了相关的试验验证工作。通过对试验数据的

分析和处理，我们对标准中的各项技术指标进行了验证。结果表明，标准中规定的技术指标

是合理可行的，能够满足实际生产的需求。​

同时，我们也对试验过程中出现的问题进行了分析和研究，并采取了相应的解决措施，

进一步完善了标准内容。​

四、与国际、国外同类标准水平的对比情况​

通过对国际、国外同类标准的研究和分析，显示本标准在技术指标、试验方法等方面与

国际、国外先进标准基本一致。​

在技术指标方面，本标准充分考虑了我国的实际生产情况和应用需求，同时借鉴了国际、

国外先进标准的经验，使各项指标既具有科学性和合理性，又具有一定的先进性。在试验方

法方面，本标准采用了国际通用的试验方法，确保了试验结果的可比性和准确性。​

总体来说，本标准达到了国际先进水平，能够满足我国行业发展的需求，同时也有利于

我国产品参与国际竞争。​

五、与现行法律、法规和强制性标准的关系​

本标准严格遵守国家现行的法律、法规和强制性标准的要求，与它们保持了良好的协调

性和一致性。​

在内容上，本标准的各项规定均不违反现行法律、法规的规定，符合强制性标准的要求。

同时，本标准在制定过程中，充分考虑了与相关法律、法规和强制性标准的衔接，避免了出

现冲突和矛盾。​

本标准的实施，将有助于进一步贯彻落实相关的法律、法规和强制性标准，促进行业的

规范化发展。​

六、重大分歧意见的处理​

在标准编制过程中，我们广泛征求了各方面的意见和建议，期间没有出现了重大的分歧

意见。对于这些分歧意见，编制小组高度重视，组织了多次专题研讨会，邀请相关的专家、

企业代表等进行深入的讨论和研究。​

在处理分歧意见时，我们坚持以科学、客观、公正为原则，充分听取各方的意见和理由，

对分歧意见进行了认真的分析和论证。对于合理的意见，我们予以采纳；对于不合理的意见，

我们向提出意见的单位和个人进行了解释和说明。​通过积极的沟通和协调，大部分分歧意

见得到了妥善解决，形成了一致的意见