材料分析测试方法第十一节 透射电子显微镜.pptVIP

*DoubleTiltHolder3mmsizelimitation一、透射电子显微镜的结构样品室：样品平移与倾斜装置第22页，共37页，星期日，2025年，2月5日*一、透射电子显微镜的结构样品室：样品平移与倾斜装置第23页，共37页，星期日，2025年，2月5日*一、透射电子显微镜的结构（2）成像放大系统1874年，德国人阿贝(E.Abbe)从波动光学的观点提出了一种成像理论，把物体通过凸透镜成像的过程分成两步：从物体发出的光发生夫琅禾费衍射，在透镜的像方焦平面上形成其傅里叶频谱图；像方焦平面上频谱图各发光点发出的球面次级波在像平面上相干叠加形成物体的像。电磁透镜成像和光学透镜成像一样可分为两个过程：第一，是平行电子束与样品作用产生衍射波经物镜聚焦后在物镜背焦面形成衍射谱（衍射斑），即物的结构信息通过衍射谱呈现出来。该过程可用傅里叶变换来描述。第二，是背焦面上的衍射斑发出的球面次级波通过干涉重新在像面上形成反应样品特征的像。该过程是傅里叶变换的逆变换。第24页，共37页，星期日，2025年，2月5日*一、透射电子显微镜的结构（2）成像放大系统电子光学系统的核心：三组电磁透镜、两个金属光阑和消像散器；电磁透镜用于成像和放大，其数目取决于所需的最大放大倍数。光阑限制电子束，调整衬度和选择图像范围。物镜：强激磁、短焦距、低像差、高分辨率、放大倍数100～300倍中间镜：弱激磁、长焦距、变倍透镜、0～20倍放大镜——其物平面与物镜的像平面重合衍射镜——其物平面与物镜后焦面重合投影镜：强激磁、短焦距、景深大一般都设置两个中间镜和两个投影镜。物镜中间镜投影镜第25页，共37页，星期日，2025年，2月5日*一、透射电子显微镜的结构A、物镜(ObjectiveLens)物镜：作用是第一次形成高分辨率电子显微图像或电子衍射花样。物镜在成像系统中最重要，决定了仪器的分辨本领和图像的分辨率和衬度，因此必须降低其像差；组成：物镜、物镜光阑和消像散器；物镜：强激磁、短焦距、低像差、高分辨率、放大倍数100～300倍；物镜的分辨率主要取决于极靴的形状和加工精度；目前，高质量的物镜分辨率可达0.1nm左右。第26页，共37页，星期日，2025年，2月5日第1页，共37页，星期日，2025年，2月5日*透射电子显微镜一、透射电子显微镜的结构二、透射电子显微镜的工作原理第2页，共37页，星期日，2025年，2月5日*一、透射电子显微镜的结构透射电镜的组成部分：（1）电子光学系统电镜的核心部分，为直立积木式结构（镜筒），上面是照明系统，中间是成像放大系统，下面是观察与记录系统；（2）真空系统为镜筒提供10-4～10-6Torr的真空度（3）电源系统（4）循环冷却系统（5）控制系统第3页，共37页，星期日，2025年，2月5日*一、透射电子显微镜的结构照明系统成像放大系统观察记录系统透射电镜电子光学系统的基本结构、原理与光学显微镜很相似，均包括三个部分：第4页，共37页，星期日，2025年，2月5日*一、透射电子显微镜的结构透射电镜电子光学系统图透射电子显微镜的剖面图第5页，共37页，星期日，2025年，2月5日*一、透射电子显微镜的结构（1）照明系统组成部分：电子枪、聚光镜和相应的平移对中、倾斜调节装置作用：提供一束亮度高、相干性好（能量稳定、平行度好）、照明孔径角小和束流稳定的照明源。通过聚光镜的控制可以实现从平行照明到大会聚角的照明条件。为满足中心暗场成像的需要，照明电子束可在2?~3?范围内倾斜。第6页，共37页，星期日，2025年，2月5日*一、透射电子显微镜的结构（1）照明系统A、电子枪类型：热电子发射型、场发射型热电子发射型的热阴极三极电子枪：阴极：灯丝（钨、LaB6）阳极：中央带小孔的金属板，接地（给电子加速）栅极：控制极，使电子束强烈会聚（成实际电子源）图电子枪结构示意图1：阴极；2：栅极；3：阳极；4：电子束交叉点第7页，共37页，星期日，2025年，2月5日*一、透射电子显微镜的结构（1）照明系统电镜中唯一的静电透镜，等电位面在空间呈弯曲状；电子枪交叉点即所谓的电子源，交叉点处电子束直径约几十微米。（a）自偏压回路（b）电子枪结构图第8页，共37页，星期日，2025年，2月5日*一、透射电子显微镜的结构（1）照明系统阴极材料：六硼化镧（LaB6）为了提高照明亮度，随后发明了电子逸出功小的材料作阴